刘荣祁的毕业论文

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1、华侨大学硕士学位论文：聚合物位相光栅参量快速测量方法研究学校代码：10385密级：硕士学位论文聚合物位相光栅参量快速测量方法研究—作者姓名：刘荣祁指导教师姓名：庄其仁职称：研究员学科、专业:光学研究方向：光电检测技术论文提交日期：2010年4月论文答辩日期：2010年6月华侨大学学位评定委员会校址：福建省泉州市华侨大学硕士学位论文：聚合物位相光栅参量快速测量方法研究原创性声明本人声明兹呈交的学位论文是本人在导师指导下完成的研究成果。论文写作中不包含其他人已经发表或撰写过的研究内容，如参考他人或集体的科研成果，均在论文中以明确的方式说明。

2、本人依法享有和承担由此论文所产生的权利和责任。学位论文作者签名：日期：学位论文版权使用授权声明本人同意授权华侨大学有权保留并向国家机关或机构送交学位论文和磁盘，允许学位论文被查阅和借阅。论文作者签名：指导教师签名：签名日期：签名日期：华侨大学硕士学位论文：聚合物位相光栅参量快速测量方法研究论文摘要位相光栅被广泛应用于光学测量、集成光学、光信息处理等领域中。聚合物衍射光学器件热压印复制技术是实现光栅低成本、大规模制造的一条很好途径。利用这种方法进行微结构光栅的复制，使用同一块母光栅大批量生产光栅参数相同的复制光栅，线宽从几百纳米到几百微米

3、，深度从几百纳米到几微米。但由于聚合物材料容易产生热变形，热压印复制光栅参数的实时快速检测变得非常重要。本论文的目的是研究一种简便、快速测量聚合物位相光栅参数的新方法。论文首先基于矩形位相光栅的标量衍射理论，提出一种光栅参数的间接测量方法。根据光栅结构及光栅参数的定义，阐述了传统测量光栅参数的原理，对比了本文测量方法与传统测量方法的优缺点。结合光栅的矢量衍射理论，详细分析了光栅的衍射特性，根据衍射特性设计了测量光栅周期、刻槽深度和材料折射率的方案。采用两个波长的激光光源，利用光栅零级衍射和1级衍射的衍射光强比，推导了矩形位相光栅的光栅周

4、期、刻槽深度和材料折射率的计算公式。测量了石英母光栅和聚合物热压印复制光栅的相应参数，通过对比证明本文测量方法是可行的，测量精度可以满足要求。本文位相光栅参量快速测量方法具有准确、高效、可重复、成本低、对光栅无损伤等优点。由于计算无需事先知道其它光栅参数，所以在不太了解光栅参量的情形下,该法是测量矩形位相光栅的光栅周期、刻槽深度和材料折射率的有效方法。华侨大学硕士学位论文：聚合物位相光栅参量快速测量方法研究关键词：聚合物位相光栅；激光衍射；光栅参数；快速测量；热压印技术华侨大学硕士学位论文：聚合物位相光栅参量快速测量方法研究abstra

5、ctAbstractPhasegratingiswidelyusedinopticalmeasurement,integratedoptics,opticalinformationprocessingfield.Hotembossingofpolymerdiffractiveopticalgratingreplicationtechniqueislow-cost,mass-producedaverygoodway.Usingthismethodofmicro-gratingstoreproduce,usehigh-volumegrati

6、ngwithagratingmastercopyofthesamegratingparameters,linewidthfromafewhundrednanometerstoseveralhundredmicrons,thedepthfromafewhundrednanometerstoafewmicrons.However,polymermaterialspronetoheatdeformation,heatembossingreplicationofreal-timerapiddetectionofgratingparameters

7、becomesveryimportant.Thepurposeofthispaperistostudyasimpleandrapidmeasurementofpolymerphasegratingparametersofthenewmethod.Deducedrectangularphasegratingofgratingperiod,groovedepthandtherefractiveindexformula.Measuredquartzgratingandpolymerhotembossingmastercopyofthecorr

8、espondinggratingparameters,bycomparingthismeasurementmethodthatisfeasible,measurementaccuracycanmeetthe