设备配置及技术规格要求

《设备配置及技术规格要求》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、设备配置及技术规格要求包A:场发射扫描电子显微镜1套1.工作条件1.1环境温度20±5℃1.2相对湿度<65%1.3电源220V(±10%),50Hz1.4连续工作时间连续操作2.技术说明2.1该仪器由真空系统、电子光学系统、二次电子探测器、背散射电子探头、能量过滤器(r-filter)、电子束减速装置(GB)、X射线能谱等、附件和零部件组成。2.2技术参数*2.2.1分辨率1.0nm(at15kV)1.4nm(at1kV)2.2.2加速电压：0.1kv~30kVSEM模式：0.5kv~30kvGB减速模式：0.1kv~3.5kv*2.2.3

2、电子束流最小束流≤1pA；最大束流≥1.7nA*2.2.4放大倍数x25~x1,000,000低放大模式：x25~x19,000普通放大模式：x100~x1,000,0002.3电子光学系统2.3.1电子枪场发射2.3.2对中自动*2.3.3光栏孔径角最优控制镜标配2.3.4物镜强励磁圆锥形物镜2.3.5像散器自动消像散记忆功能2.3.6r-过滤器：标配（利用二次电子探头可以得到二次电子像和二次电子与背散射像的不同比例的混合像）2.3.7电子束减速装置（GB）：标配（可以保证低电压下的1.4nm的分辨率）2.4样品室和样品台2.4.1样品台全

3、对中样品台*2.4.2类型五轴（X；Y；R；T；Z）马达驱动样品台*2.4.3行程X≥60mm;Y≥48mm;Z≥25mm2.4.4倾斜-5~7002.4.5旋转3600连续2.4.6样品更换快速气锁更换样品2.4.7真空系统2.4.7.1自动真空抽气及诊断系统2.4.7.2真空度：≤10-7Pa(电子枪)；≤10-4Pa(样品室)*2.4.7.3真空泵：分子泵（磁悬浮型）≥296L/S；机械泵≥130L/Min；离子泵×3台2.4.7.4保护：断电、漏电、真空保护2.4.7.5带有冷阱减小样品污染*2.4.8主动式减震系统标配2.5探测器*

4、2.5.1二次电子探头：提供高位二次电子探头和低位二次电子探头（两个探测器）*2.5.2背散射电子探头：提供高灵敏半导体背散射电子探头2.6X射线能谱仪性能指标2.6.1高效高分辨能谱仪探测器(电制冷，即开即用)2.6.1.1元素分析范围:Be--Am(95)2.6.1.2探测器晶体面积:30平方毫米*2.6.1.3分辨率:优于129eV，MnKa线,（2000cps～100000cps分辨率保持不变）。C元素分辨率优于55eV*2.6.1.4晶体类型：第五代水滴形SDD晶体，低噪音嵌入式场效应管2.6.1.5封闭式真空系统，无需借助SEM抽

5、放真空。2.6.1.6开机时间：即开即用，开机30秒即可达到正常工作状态。*2.6.1.7致冷方式：电致冷，无需液氮，无需离子泵，水冷，压缩机等附属致冷设备2.6.1.8工作温度：零下25-30度。2.6.1.9日常维护：完全免维护，无任何消耗品*2.6.2.0最大输入计数:1,000,000cps，最大输出计数:400,000cps2.6.3X－射线分析系统2.6.3.1采用具有自动选择最佳时间常数的数模混合处理器2.6.3.1.1独立的零峰设计，自动和手动的能谱校正，处理器硬件过滤“和”峰*2.6.3.1.2数字电子束控制系统:可与任意型

6、号的扫描电镜连接，保证图像质量与电镜图像一致。2.6.4能谱仪分析软件*1)方便快捷的WindowsXP操作系统，中英文软件界面2)分析数据及参数采用项目文件统一管理；3)智能化的自动定性分析工具；自动谱峰鉴定；自动背底修正；4)定量分析系统，进行自动实时的背底扣除,重叠峰剥离和得到定量分析结果；5)加强的Phi-Rho-Z用于最新矩阵修正计算；6)可视化的谱峰拟合剥离，有效鉴别重叠峰；7)谱图和分析数据可一键转换为Word格式文档或PDF文档格式2.6.5数字图象处理软件:1)分辨率不低于4096×3072的图像采集和显示，元素面分布分辨率

7、不低于4096*30722)自动调节对比度，亮度；3)图像数据库，并可同时显示图像及其样品信息。*2.6.6X－射线面分布软件可采集任意数量幅的X-射线元素面分布图；元素面分布分辨率不低于4096*30722.6.7附属设备1）主流计算机一台2）用户手册、相关图纸一套2.6.8设备的验收及售后1）设备到货后，卖方应在接到买方电话邀请后一周内派专业技术人员到买方现场负责仪器的安装，调试。设备最终验收在买方现场进行。设备安装调试最终验收后，由卖方专业技术人员进行现场免费培训，并提供完整的中英文技术资料，包括操作使用说明手册、维护维修手册和电路图等

8、。2）仪器在买方现场且通过最终验收合格后进入质保期。质保期一年。3)如在使用过程中出现问题时，卖方在二十四小时内进行回应，并在两个工作日内提出解决问题方案，如需现场