aspex扫描电镜性能及优势

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1、Aspex扫描电镜性能及优势——Excel独家总代理,代表陈向民(MR.TIMCHEN)13922831896美国ASPEX扫描电镜-能谱仪系统产品的特点:高放大率图像,快速无损元素分析,强大计算机自动控制,使用成本低,样品分析导航。它是世界上分析速度最快的钢铁夹杂物分析仪,2008年获美国研发TOP100大奖。广泛应用于钢铁冶金、生物、制药、汽车、司法、航天、军事等领域。产品在美国、欧洲等地享有盛誉。主要技术性能指标的比较仪器型号AspexeXplorerSSX-550Inspect制造厂商美国Aspe

2、x日本岛津SHIMADZU美国FEISEM扫描电镜主机分辨率高真空7nm(WD=8mm)3.5nm(WD=8mm)3.0nm(二次成像)4.0nm(背散射)低真空压力连续可调30nm(WD=8mm)30nm(二次成像)加速电压范围0.2-25kV0.5-30kV200V-30kV调整步宽连续可调10V/步连续可调放大倍数20~250,00020~300,000倍探测器SED,QuadBSED(标配)SED标配BSED选配SED标配,BSED标配真空系统涡轮分子泵+机械泵(无需冷却水及压缩空气)扩散泵+机械

3、泵(需冷却水及压缩空气)涡轮分子泵+机械泵灯丝寿命平均>150小时(高达200-400小时)>100小时样品台移动(X,Y)80×100mm80×40mm50×50mm(Z)手动40mm最大50mm(手动25mm)(倾斜)-70~45°-30~60°-15~75°样品台驱动方式四轴马达台五轴马达台四轴马达台样品最大尺寸153mmΦ125mm284mmEDX能谱仪EDX装置结构EDX/SEM一体化EDX/SEM一体化Oxford分体探测器SDDED(UTW&BW)UTWEDX选配冷却方式液氮需液氮需液氮电子

4、Peltier效应(无需液氮)EDX取出角35°35°能量分辨率133eV144eV检测元素(5)B~(92)U(5)B~(92)USEM/EDS控制模式1台PC1台PC2台PC操作软件GSR专用软件.符合国际标准ASTME1588同时分析SEM和EDS.全自动无人值守特征分析通用软件需两套不同软件通用软件显示器20”LCD17”SVGA19”LCD供电方式220V,50Hz无需另配变压器110V,50Hz需另配变压器230V,50hz重量300公斤450公斤综上所述,Aspex扫描电镜的主要优势在于:1

5、、从硬件到软件,真正实现扫描电镜和能谱仪完全一体化。2、采用GSR专用分析软件,符合国际标准ASTME1588,单一软件平台同时分析SEM和EDS,实现全自动无人值守特征分析。3、探测器配置齐全,SED,QuadBSED和SDDEDX均为标准配置。4、能谱仪采用SDD探测器,分析速度快;不需液氮,日常使用成本低。5、高真空系统的压力可调,不需要真空镀膜仪等。6、采用先进的涡轮分子泵实现真空,无需冷却水和压缩空气系统。7、电源适于中国使用,无需另配变压器。8、模块化设计,预封装式灯丝和镜筒(专利技术)可直接

6、更换,无需技术人员上门服务。9、结构紧凑,体积小,重量轻。关于几点数据比较和技术问题的具体说明:1、关于电镜放大倍数扫描电子显微镜(SEM)的放大倍数是仪器各部件指标的叠加,是一个计算值,在实际工作中并无太大的实际意义,原因是这样的:钨灯丝SEM的分辨率目前可达3.0nm,这一指标已经是该类仪器(钨灯丝)的极限值了。但根据钨灯丝SEM分辨率的标准,并不意味着放大倍数越高,分辨率就越好,所以SEM的放大倍数必须与实际条件相结合,选定一个合理的放大倍数。过高的放大倍数,只会导致“空放大”,而且图像会很不清晰。

7、所有钨灯丝SEM的实际使用放大倍数都集中在700-800倍以上至10000-20000倍以下,超出这个范围,都无法充分体现出电镜追求“高真空、低加速电压条件下样品表面的形貌特征观察”的最根本初衷。所以,上述表格中放大倍数的差距仅仅是指标的差距,在实际使用中各公司产品并无明显差异。另外,在实际GSR(射击残余物)分析中,一般弹痕颗粒都大于0.5微米,使用900倍的放大已足够,因此3.5nm的分辨率实际上是不需要的,在GSR分析中,7nm的分辨率都显得过大。2、SEM与EDX的组合Aspex和岛津公司的产品都

8、是SEM和EDX由同一家公司生产,SEM和EDX使用同一套电脑控制。但岛津公司的EDX需要液氮冷却,而Aspex则采用SDD探测器,不需要液氮。3、真空系统的优势Aspex的真空系统采用先进的涡轮分子泵+机械泵,结构简单,性能优越,而岛津公司采用扩散泵则需要复杂的冷却水和压缩空气系统。与传统的SEM正好相反,Aspex采用专利技术,将真空控制置于电子枪处,因此可以获得极其稳定的电子束,从而实现长时间、无人值守的自动化分析。稳定

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