电涡流式传感器

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1、8.3电涡流式传感器涡流效应：金属导体置于变化着的磁场中，导体内就会产生感应电流，这种电流像水中旋涡那样在导体内转圈，所以称之为电涡流或涡流，这种现象就称为涡流效应。电涡流大小与金属体的电阻率ρ、磁导率u、厚度t及金属导体距离x、励磁电流频率ω等有关。可以做成位移、振幅、厚度、表面温度、材料判别、应力、硬度等传感器。特点：测量范围大、灵敏度高、抗干扰能力强、不受油污等介质影响，结构简单、安装方便，可实现非接触测量。电涡流效应演示当电涡流线圈与金属板的距离x减小时，电涡流线圈的等效电感L减小，等效电阻R增大。感抗XL的变化比R的变化大得多，流过电涡流线圈的电流i1

2、增大。电涡流式传感器8.3.1电涡流式传感器的工作原理8.3.2电涡流式传感器的类型8.3.3电涡流式传感器的应用8.3.1电涡流式传感器的工作原理1.基本原理2．等效电路3.测量电路1.基本原理线圈置于金属导体附近：线圈中通以高频信号is正弦交变磁场H1金属导体内就会产生涡流涡流产生电磁场反作用于线圈,改变了电感电感变化程度取于线圈L的外形尺寸，线圈L至金属板之间的距离，金属板材料的电阻率和磁导率以及is的频率等。如下图a所示，一个扁平线圈置于金属导体附近，当线圈中通有交变电流I1时，线圈周围就产生一个交变磁场H1。置于这一磁场中的金属导体就产生电涡流I2，电

3、涡流也将产生一个新磁场H2，H2与H1方向相反，因而抵消部分原磁场，使通电线圈的有效阻抗发生变化。我们可以把被测导体上形成的电涡等效成一个短路环，这样就可得到如图b的等效电路。a)电涡流传感器原理图b)电涡流传感器等效电路图2．等效电路R2为电涡流短路环等效电阻；ra为短路环的外径；ri为短路环的内径h为电涡流的深度基尔霍夫电压定律等效阻抗式中，Req为产生电涡流效应后线圈的等效电阻；Leq为产生电涡流效应后线圈的等效电感分析：由于电涡流的影响，线圈复阻抗的实部(等效电阻)增大、虚部(等效电感)减小，因此，线圈的等效品质因数下降，即：电涡流式传感器的等效电气参数

4、都是互感系数M2的函数。通常总是利用其等效电感的变化组成测量电路，因此，电涡流式传感器属于(互感式)电感式传感器。3.测量电路(1)调频式测量电路(2)调幅式测量电路(1)调频式测量电路工作原理：传感器线圈接入LC振荡回路，当传感器与被测导体距离x改变时，在涡流影响下，传感器的电感变化，将导致振荡频率的变化，该变化的频率是距离x的函数，即f=L(x),该频率可由数字频率计直接测量，或者通过f-V变换，用数字电压表测量对应的电压。振荡器的频率为：(2)调幅式测量电路工作原理：由传感器线圈L、电容器C和石英晶体组成。石英晶体振荡器起恒流源的作用，给谐振回路提供一个频

5、率（f0）稳定的激励电流io，LC回路输出电压式中,Z为LC回路的阻抗。当金属导体远离或去掉时，LC并联谐振回路谐振频率即为石英振荡频率fo，回路呈现的阻抗最大，谐振回路上的输出电压也最大；当金属导体靠近传感器线圈时，线圈的等效电感L发生变化，导致回路失谐，从而使输出电压降低，L的数值随距离x的变化而变化。因此，输出电压也随x而变化。输出电压经放大、检波后，由指示仪表直接显示出x的大小。除此之外，交流电桥也是常用的测量电路。8.3.2电涡流式传感器的类型涡流大小与导体电阻率ρ、磁导率μ、厚度t、线圈与导体的距离以及线圈的激磁电流频率ƒ等参数有关。磁场变化频率

6、越高，涡流的集肤效应越显著，即涡流穿透深度愈小，其穿透深度h可用下式表示:由上式可知涡流穿透深度h与激励电流频率ƒ有关，所以涡流传感器根据激励频率高低，可以分为高频反射式或低频透射式两大类。ρ为导体电阻率(Ω·cm)；r为导体相对磁导率；ƒ为交变磁场频率(Hz)线圈框架3．框架衬套4．支架5．电缆6．插头1.高频反射式电涡流传感器被测导体的材料对传感器特性的影响被测导体的尺寸和形状对测量的影响被测导体表面镀层对测量精度的影响传感器的安装对测量的影响影响因素2.低频透射式涡流传感器透射式涡流传感器原理线圈感应电势与厚度关系曲线这种传感器采用低频激励，因而有较大的

7、贯穿深度，适合于测量金属材料的厚度。右图所示为这种传感器的原理图和输出特性。工作原理：传感器包括发射线圈和接收线圈，并分别位于被测材料上、下方。由振荡器产生的低频电压u1加到发射线圈L1两端，于是在接收线圈L2两端将产生感应电压u2，它的大小与u1的幅值、频率以及两个线圈的匝数、结构和两者的相对位置有关。若两线圈间无金属导体，则L2的磁力能较多穿过L2，在L2上产生的感应电压u2最大。同种材料，当选用不同的测试频率时，响应曲线如下：分析：频率高，线性度差，在t较小的情况下，斜率大，灵敏度高。频率低，线性度好，斜率小，灵敏度低。结论：测量薄板时应选较高的频率，测量

8、厚材时应选较低的频率。f