投标邀请-华润微电子（重庆）有限公司

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1、第一章参与报价须知条款号条款名称编列内容1.1项目名称项目名称：中航（重庆）微电子有限公司新增EPI机台MiniBubbler购买1.2施工地点重庆市西永微电子园西永大道25号※1.3参与人资质能力要求参与人应具备以下资格条件：1、营业执照具有独立的法人资格，有效的企业法人营业执照，其营业范围与本项目相适应。2、财务要求企业注册资本金不低于100万元人民币。3、信誉要求（1）最近三年没有出现违法违规或失信行为；（2）最近三年没有拖欠劳务费的败诉记录；（3）最近三年没有无故弃标的不良记录；（4）受到行政处罚的不在其行政处罚期内。（5）近三年在重庆市人民检察院行贿

2、犯罪档案查询系统中无不良记录的企业。4、其他要求：下列要求须提供证明材料或案例佐证：（1）厂商或其代理之品牌的MiniBubbler必须在半导体晶圆厂或外延厂（例如中航、上华、台积电..等类型）安装过6台及以上，需要提供合同或者装机报告等证明文件。（2）厂商工程师需有一名10年以上半导体Minibubbler设备安装经验，厂商需要提供工程师资历以供确认；1.4信息确认■不组织，可与我司运转部联系。联系人：李桥联系电话：023-89865000-5274※1.5交期收到PO后10周完成交付，2周完成安装调试。※1.6签字或盖章要求报价文件的正本每页均须与厂商法定

3、代表人或其授权的代理人签字或盖章确认。※1.7报价文件内容报价函部分：（一式二份，正本一份，副本一份）；资格审查部分：（一式二份，不分正副）；商务报价部分：（一式二份，正本一份，副本一份）；技术确认部分：（一式二份，正本一份，副本一份）；※1.8报价文件格式报价函（见附件一）；法人授权委托书（见附件二）；商务报价一览表（见附件三）；技术确认响应表（见附件四）；资格审查部分内容由厂商自行提供，须盖章确认。※1.9资格审查部分所有资料复印件盖报价参与公司的鲜章※2.0商务报价包含1.总项报价（商务报价一览表）2.分项报价（我司提供的标单中分项报价）2.付款条件※2

4、.1截止和报价开启时间2017年4月24日14:00时2.2付款方法和条件90%验收后支付，10%质保期满后支付※2.3报价评比方法报价资格符合要求的厂商，按照最低价原则，价格由低到高进行排名，与排名顺位第一和第二名进入谈判。※第二章技术标准及要求1.设备功能鼓泡器通过携带气体H2混合TCS液体进行均匀鼓泡动作已到达外延机台使用需求。(品牌:Norcimbus/LPE/苏马赫)2.鼓泡方式利用氢气当成载气，在恒温的条件下将TCS液体均匀鼓泡，达成可控制流量的气体。3.鼓泡器配置要求所用材料应是半导体协会认证的合格材料。设备内部气体管路要求采用精密全自动无缝焊接

5、。焊口做到不氧化，严禁出现内外焊接渗透。3.1基本配置要求3.1.1.全自动鼓泡配置3.1.2.14升及以上的鼓泡桶3.1.3.Chiller-5to40DegC3.2基本功能要求3.2.1.全自动鼓泡功能3.2.2.全自动加液功能3.2.3.盘面吹扫功能3.2.4.鼓泡桶恒温功能3.2.5.鼓泡桶内部温度显示功能（或者冷却水管路有流量及温度显示功能）（非必选项）3.2.6.鼓泡桶内部液位显示/指示功能3.3工艺及安全功能要求3.3.1.压力异常报警3.3.2.温度异常报警3.3.3.液位异常报警3.3.4.烟感报警3.3.5.温感报警3.3.6.设备紧急关断

6、功能3.4逻辑控制要求鼓泡器内部供液、加液等盘面流程如以下P&ID图3.1检测要求设备出厂前需要做以下测试已确保设备的稳定性及安全性3.5.1设备外观检测3.5.2设备零部件安装检测3.5.3氦气测漏检测3.5.4微粒检测3.5.5水份检测3.5.6氧份检测3.5.7保压检测3.5.8设备电气检测3.5.9基本试车检测3.5.10出厂保压（60PSI左右）3.2安装要求项次内容本包包商1鼓泡器安装A设计、采购、指导安装测试及运行B设备货运C设备现场开箱验收2电气、仪表、控制系统A设备配电B设备控制系统的设计、采购、安装、测试C气体侦测系统（H2侦测器）D设备接

7、地至业主指定之接地箱E本包需支持ETHERNETTCP/IP协议，提供工业以太网接口，通过OPC向FMCS提供3试运转及系统验收A试运转及操作训练1.设备外观要求4.1.面板厚度大于等于2.5mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都是非易燃的。4.2.进气窗口有安装灰尘过滤器。4.3.设备内部标明存储气体及液体的种类及其精确浓度，所有的管路及阀件都有标明其作用，例如供气，吹扫或排气。4.4.箱门可以打开90度角以上以便正常操作。4.5.箱门可以平稳的打开及关闭。4.6.操作窗口的玻璃厚度大于等于6.5mm并有金属丝加固的安全玻璃。4.7.管路非焊接接口全

8、部采用VCR连接，焊接接口采用自动轨道