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1、静电放电(ESD)防护培训一.ESD原理简介二.静电对零件的危害三.如何做好静电防护四.EOS产生的主要因素五.公司ESD/EOS要求目录随着科技的高速发展,电子产品制作工艺将越来越细小,越来越复杂,半导体材料的质量要求也是越来越高的.而静电对半导体的破坏却因半导体的高集成化而变得更加容易.为了产品的质量和提升客户的满意度,我们必须在任何时刻,任何制程皆须注意静电破坏之问题,避免于生产过程中之零件,产品遭受到静电之破坏,进而有效迖成我们的质量目标.序言ESD基本原理介绍一静电放电(ESD-Electro-StaticDischarge)现象严寒的冬天,当您脱下暖
2、和的毛衣,您会听到哔啪声当伸手去开车门或窗户时常被电击一下,是由于人身带了静电,接触时突然放电所致手无意间接触计算机荧幕时被电击一下,是由于计算机电场诱发带了强烈的静电,接触时计算机对人体放电所致云层相互摩擦而带大量的电荷,相互放电形成能量巨大的闪电,对地放电则可能形成雷击ESD基本原理介绍二.静电的本质物质由分子和原子组成,原子由原子核和电子组成,原子核带正电,电子带负电.自然条件下,正负电荷平衡,物体不带电.这类物体叫电中性物体在某种条件下,正负电荷的平衡被打破,则物体带电--这种现象叫物体带电所谓静电指对观察者而言,物体静态不动时静电荷运动非常缓慢;动态时
3、则以电荷的快速运动而变化.ESD基本原理介绍三.静电起电静电可有很多种方式产生,如物体间的摩擦,电场诱发,直接充电,带电颗粒粘附等等摩擦起电:当两个物体产生摩擦时,摩擦表面的电子会从一种物体跑到另一种物体上,分离后,两个物体的正负电荷失去平衡,得到电子的带负电,失去电子的带正电.感应起电:当有强电场(大的带电体)存在时,附近的物体被感应,局部或整体产生电荷,这类带电称为感应带电.ESD基本原理介绍起电图示1.摩擦ESD基本原理介绍起电图示2.分离ESD基本原理介绍四.静电产生原理摩擦起电:操作中的动作和肢体运动,由衣服,鞋子与其它物体,地面摩擦,使衣服和鞋子带电
4、,再通过传导和感应,使人体带电.感应起电:当不带电的人体进入带电的电场,静电感应而起电.传导起电:人体直接接触带电体,或与带电体发生静电放电,另人体在静电的微尘粉体和雾状液粒空间活动,使带电微粒附在人体及衣服上产生静电.ESD基本原理介绍五.静电放电是电荷在不同电位物体间相互转移的现象,是由于电子不均匀分怖造成的结果静电放电的条件是:首先有静电存在,其次要有一定的途径静电放电的原因和条件多种多样,控制静电放电是在人们生活和工作中的各个方面所追求的ESD基本原理介绍六.静电释放模式人体模式(HumanBodyModel)—带有静电的操作者在工作过程中与器件的管脚接
5、触，将存贮于人体的静电荷通过器件对地放电致使器件失效机器模式(MachineModel)—带电工具或设备接触组件时，在器件内部将感应出电位差，所感应的电位差可以引起器件的击穿带电组件模式(ChargedDeviceModel)—带电的器件通过引脚与地接触时，发生对地放电引起器件失效七.放电静电放电大概可分为:火花放电﹑电晕放电﹑刷状放电﹑大量粉堆放电﹑射状放电﹑等形式放电的强弱与放电的电极、形状、材质、阻抗、数量、湿度、距离、速度均有密切的关系.ESD基本原理介绍石棉兔毛醋酸纤维玻璃云母头发耐龙羊毛兽毛铅蝉丝铝纸棉钢木琥珀蜡橡胶密拉(聚酯膜)镍铜银抗紫外线材黄铜
6、金/白金硫醋酸嫘莹赛路璐奥龙亚克力赛仑聚氨酯聚酯聚乙烯聚丙烯聚氯乙烯KELF硅铁弗龙硅橡胶放电与电极特性之关系越多正电越多负电导电级ConductiveR＜105Ω／SQ防静电级Dissipative(衰减材)106＜R＜109Ω／SQ抗静电级Anti-Static109＜R＜1011Ω／SQ绝缘insulation1012＜RESD基本原理介绍放电与材质阻抗之关系ESD基本原理介绍静电与湿度之关系总上所述:湿度越小越容易产生静电ESD基本原理介绍八.标准静电压定义可感受的ESD电压都在3,000volts以上可感受的ESD电压都在6,000volts以上可看到
7、的ESD电压都在8,000volts以上ESD基本原理介绍九.静电放电时间常数计算静电对零件的危害各类型之晶体皆有其抗静电能力.实际上芯片在达到能承受静电压值的1∕4以后,这些芯片就会产生”衰退”的现象.这些衰退的芯片在后续制程中或是在PC板组装时,如果再经静电影响将会提前失效.电子界ESD的标准电压一般要求为±100volts以下静电对零件的危害一.各种组件的静电敏感度静电对零件的危害二.半导体不良的成因静电对零件的危害三.电子产品静电损伤的特点<一>损伤具有隐蔽性:人体带电是电子产品静电损伤主因，几KV的人体静电，对人而言放电感受几乎没有，对元器件却是致命的
8、.失效分析的复杂性:电子
