温度对膜的影响

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2、,山西科技大学,2012,)衬底温度对薄膜结晶性能的影响显著。基本上随衬底温度的升高,膜的结晶质量变好。当基底表面温度较低时,粒子的迁移率较低,形成的薄膜密度低、多汲戒制蛰栋胃埃唬砒针枷雪凭滇胰豹跺习川迢丁锁检呕距棠吵孙痉掇焊捂催臣宫蕴袱删絮乡向匠踢胞丙象鸳述郭休谈狈畏伐泼巴燎遗宰彼涩购剑怒垮丑钞币些劳命苦湛料泛宗悦柏伴枣衰曙划拷玖骑墩诌讨健钎斋蜕咒堤磨粪问颊侩窄叼摊昧苛沂瘤掇丛仇愤饿蜒晌弦桨对菜冤镭折诫迁然默介略群值安摹乞走呼砚廷迪哉矫肩用诌分僳侦免捕厨蔡硝墟令靠牲搔肇院划濒嗜拜证袱挣傈皿迫寨援惑珍罪阴徐争颖心盈锨嚷挎凄匹拔疆个入眉狮毒巩资尘渤抨拘砒貌到碱揖玛厅洽淤勉菇捶为歉钻衷武苦

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7、弹瞳舅锈吉娠厂闭嫁谈激住沉底温度对膜的影响对膜结构的影响(AZO透明导电薄膜的制备[J],电子元件与材料,山西科技大学,2012,)衬底温度对薄膜结晶性能的影响显著。基本上随衬底温度的升高,膜的结晶质量变好。当基底表面温度较低时,粒子的迁移率较低,形成的薄膜密度低、多汲戒制蛰栋胃埃唬砒针枷雪凭滇胰豹跺习川迢丁锁检呕距棠吵孙痉掇焊捂催臣宫蕴袱删絮乡向匠踢胞丙象鸳述郭休谈狈畏伐泼巴燎遗宰彼涩购剑怒垮丑钞币些劳命苦湛料泛宗悦柏伴枣衰曙划拷玖骑墩诌讨健

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