β-si3n4掺杂与表面吸附体系的第一性原理研究

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1、学校代号10731学号152080502015分类号TB321密级公开硕士学位论文β-Si3N4掺杂与表面吸附体系的第一性原理研究学位申请人姓名高绪培养单位材料科学与工程学院导师姓名及职称卢学峰副教授学科专业材料学研究方向陶瓷材料的第一性原理研究论文提交日期2018年03月12日学校代号：10731学号：152080502015密级：公开兰州理工大学硕士学位论文β-Si3N4掺杂与表面吸附体系的第一性原理研究学位申请人姓名：高绪导师姓名及职称：卢学峰副教授培养单位：材料科学与工程学院专业名称：材料学论

2、文提交日期：2018年03月12日论文答辩日期：2018年05月30日答辩委员会主席：周健松研究员First-principlesstudyofdopedβ-Si3N4andsurfacesofβ-Si3N4withadsorptionsbyGAOXuB.E.(ShenyangJianzhuUniversity)2015AthesissubmittedinPartialsatisfactionoftheRequirementsforthedegreeofMasterofEngineeringInMat

3、erialsscienceIntheSchoolofMaterialsScienceandEngineeringofLanzhouUniversityofTechnologySupervisorAssociateProfessorLuXuefengMarch,2018硕士学位论文目录摘要.............................................................................................................

4、............................IAbstract....................................................................................................................................III第1章绪论............................................................................

5、..............................................11.1Si3N4材料的发展历程...................................................................................................11.2Si3N4材料的用途..............................................................................

6、.............................21.2.1Si3N4在微电子、光电子等半导体领域的应用....................................................21.2.2Si3N4在多种工业领域的应用................................................................................21.2.3Si3N4薄膜材料在微电子领域中的应用..................

7、..............................................31.2.4Si3N4薄膜材料在光电子领域中的应用................................................................41.3Si3N4的种类及结构.......................................................................................................

8、51.4Si3N4的第一性原理研究现状.......................................................................................61.5本文的研究目的与主要内容.........................................................................................71.5.1本文的研究目的.....