等离子清洗机和等离子表面处理系统plasmawideflux-s价格

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4、。2.物理蚀刻的特性，无论使用什么材料都可以用来加工，所以各种领域都可以被广泛应用。3.配置使用美国考夫曼公司原装制造的离子源。4.射频角度可以任意调整，蚀刻可以根据需要做垂直，斜面等等加工形状。5.基板直接加装在直接冷却装置上，所以可以在低温环境下蚀刻。6.配置公转自转传输机构，使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。7.机台设计使用自动化的操作流程，所以可以有非常友好的使用生产过程。标题:离子蚀刻机和等离子表面处理系统CUTE-MP参数库号：JX164069价格：百度搜【润联网】查询主要技术参数：仪器简介：在过去的几年中，半导

5、体器件和IC生产等微电子技术已发展到深亚微米阶段及纳米阶段。为了追求晶片更高的运算速度与更高的效能，三十多年来，半导体产业遵循著摩尔定律（Moore’sLaw）：每十八个月单一晶片上电晶体的数量倍增，持续地朝微小化努力。为继续摩尔定律，在此期间，与微电子领域相关的微/纳加工技术得到了飞速发展，科学家提出各种解决方案如：图形曝光（光刻）技术、材料刻蚀技术、薄膜生成技术等。其中，图形曝光技术（微影术）是微电子制造技术发展的主要推动者，正是由于曝光图形的分辨率和套刻精度的不断提高，促使集成电路集成度不断提高和制备成本持续降低。电子束曝光

6、系统（electronbeamlithography,EBL）是一种利用电子束在工件面上扫描直接产生图形的装置。由于SEM、STEM及FIB的工作方式与电子束曝光机十分相近，美国JCNabityLithographySystems公司成功研发了基于改造商品SEM、STEM或FIB的电子束曝光装置（NanometerPatt标题:扫描电子束曝光系统和激光无掩膜光刻机LW405价格库号：JX164070价格：百度搜【润联网】查询登录“润联网”可查找底价http://www.runlian365.com『润联网』登录【润联网】查询价格主

7、要技术参数：离子蚀刻机20-M/NS-8NS适合中等规模量产使用的离子刻蚀机基片尺寸直径3英寸X8片直径4英寸X6片基台直接冷却样品台20cm考夫曼离子源电源可更换为国内电源离子蚀刻机主要优点：1.干式制程的微细加工装置，使得在薄膜磁头，半导体元件，MRsensor等领域的开发研究及量产得以广泛应用。2.物理蚀刻的特性，无论使用什么材料都可以用来加工，所以各种领域都可以被广泛应用。3.配置使用美国考夫曼公司原装制造的离子源。4.射频角度可以任意调整，蚀刻可以根据需要做垂直，斜面等等加工形状。5.基板直接加装在直接冷却装置上，所以可

8、以在低温环境下蚀刻。6.配置公转自转传输机构，使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。7.机台设计使用自动化的操作流程，所以可以有非常友好的使用生产过程。标题:小型等离子增强PECVD沉积设备和原子层沉积系统PE-ALD价格库号：JX164071价