洁净室空气处理过程

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1、七个典型的洁净空气处理系统即空气处理过程七个典型的空气处理系统即空气处理过程3.1.5.1净化和空调合一的方案其净化空调机组（AHU）集中设置在空调机房内，全部的送风均在净化空调机组内进行过滤和热、湿处理，然后由庞大的送风管将全部的送风输送到洁净室的吊顶上部，再经过设在洁净室吊顶上的终端高效过滤器或高效过滤器送风口送到洁净室内，来实现洁净室工艺生产所需要的温度、湿度、洁净度和房间的压差，洁净室的回风经回风口、回风管再接回到空调机房的空调机组内与新风混合后重复进行过滤和热、湿处理。净化和空调合一的方案又可分为全新风方案（直流系统）；一次回风方案

2、；一、二次回风方案和(MAU)加(RAU)方案等四种不同的净化空调送风型式。这些送风方案是当前洁净室特别是非单向流洁净室中应用最广泛的净化空调送风方案。这些送风方案的系统划分明确，风量和温、湿度控制调节都比较单一。但当洁净度级别较高、送风量较大时，存在着空调机房占面积大，送、回风管体积大占面积和占空间大，送、回风管道长，送风机的压力高，噪音大,风量输送耗电量大等问题。因此，这些送风方案较适用在低级别的非单向流洁净室的送风，对5级以上的单向流洁净室送风就不太经济合理了。一、AHU全新风的净化空调送风方案（直流系统）全新风净化空调送风方案是用于特殊的不

3、允许回风的洁净室的送风方案中。如：洁净室内工艺生产类别为甲、乙类火灾危险等级或工艺过程产生有剧毒等有害物不允许回风的洁净送风系统中。其原理图和焓湿图如下。示意图焓湿(i-d)图空调机组（AHU）全新风空气处理方案示意图及焓湿图二、AHU一次回风的净化空调送风方案一次回风的送风方案多用在洁净室内的发热量或产湿量很大，消除室内余热或余湿的送风量大于或等于净化送风量的低洁净度等级的非单向流洁净室中。此方案的原理图和焓湿图如下：示意图焓湿(i-d)图空调机组（AHU）一次回风空气处理方案示意图及焓湿图三、AHU一、二次回风的净化空调送风方案为了节能、消除空

4、气热湿处理过程中的冷热相互抵消，在洁净室净化送风量大于消除余热、余湿的空调送风量时，最好采用一、二次回风方案，将二次混合点设计在系统送风点上,该方是最节能、最经济的送风方案。其原理图和焓湿图如下：示意图焓湿(i-d)图空调机组（AHU）一、二次回风空气处理方案示意图及焓湿图四、MAU+RAU的净化空调送风方案此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度，温、湿度及其精度的要求,就要设置多个循环机组,循环机组的送风量是能消除室内余热、余湿，保证室内温、湿度同时又能满足室内洁净度要求的净化

5、空调送风量,在循环机组内设置必要的热、湿处理设备,用来补充新风机组热、湿处理的不足和保证该洁净室温、湿度精度的微调节。示意图焓湿(i-d)图MAU加RAU空气处理方案示意图及(i-d)图5.1.5.2净化送风和空调送风分离的方案，此方案通常被称作半集中式或分散式的送风方案。为了大大地节省运行时的能耗，将消除洁净室内余热、余湿的空调送风量（通常大大地小于洁净室的净化送风量），由设在空调机房内的新风机组（MAU）进行必要的净化和热湿处理，而将占总送风量50~90%的保证洁净室洁净度的净化送风量由设在洁净室附近的循环机组进行净化和补充的热、湿处理，或直接

6、采用吊顶上的FFU（风机过滤器机组）和干盘管来解决洁净室的洁净度等级和温度的微调节。此方案是净化送风与空调送风相分离的方案，不仅可节省运行的能耗，而且大大地减少了空调机房面积，省掉了庞大的送、回风管道，降低了洁净室的空间高度。此净化空调送风方案又可分为：空调机组(AHU)（MAU）加风机过滤器机组(FFU)方案,新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加（FFU）方案；新风机组（MAU）加风机过滤器机组（FFU）加干冷盘管(DC)方案等三种送风方案。其送风原理图和焓湿图如下：示意图焓湿(i-d)图AHU加FFU空气处理方案示意图及焓湿图二、新风机组（

7、MAU）加循环机组（RAU）加风机过滤器单元（FFU）净化空调送风方案此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度，温、湿度及其精度的要求,就要设置多个循环机组,循环机组的送风量只是消除室内余热余湿的空调送风量,并且在机组内设置必要的热、湿处理设备,用来补充新风机组热、湿处理的不足和保证该洁净室温、湿度精度的微调节。此方案的新风机组设在空调机房内，这些洁净室所需的新风全部由新风机组（MAU）进行净化和热湿的集中处理。然后分配到每一个循环机组内与其回风混合。新风机组的新风量不仅仅要补充各

8、洁净室的排风还要保证每个洁净室的正压。示意图焓湿(i-d)图MAU加RAU加FFU空气处理方案示意图及(i-d)图三、新风