plasma 机台维护保养类别

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1、PLASMA機台保養類別Ø週保養Ø季保養Ø年度保養Plasma機台週保養1、將掉落於電極的鋁粉及Chamber壁的污染物用酒精擦拭(操作員手可觸及的範圍)2、添加Oilpump真空油至8份滿(注意用油型號)3、檢查pump是否漏油4、檢查RF的反射功率是否太高當反射功率大於8W時請通知鈦昇服務人員當反射功率大於15W時請關機5、機台的散熱風扇是否運轉Plasma機台季保養1、機台外觀擦拭2、chamber內壁及o-ring溝槽用酒精擦拭3、察看電極的濾網是否破裂4、電極外觀用酒精擦拭5、更換Oilpump真空油記錄機台目前狀況

2、：1、抽真空時間2、真空壓力回昇速度3、Pumpturnoff、洩掉變黑色的油4、加入約200cc的新油與殘留的舊油混合、pumpturnon約30sec，洩掉髒油5、添加新油約7分滿6、測試Plasma機台年度保養ØChamber清洗ØOilpumpoverhaulØRootspumpoverhaulØ電極清洗Ø玻璃shield清洗ØMFC校正　Chamber清洗13、組裝完與組裝前的性能比較7、下電極座、玻璃(組裝時須注意玻璃方向性)8、3M溶劑清洗腔體內部及門板9、用酒精作最後清洗10、用酒精擦拭O-RING及溝槽(組裝

3、時須注意O-RING壓模線朝左右兩側)11、若有更換電極的過濾網，組裝時須調整T型塊，與電引入同高。12、T塊須攻牙，再鎖電引入5、下電引入(溫度高，旋轉電引入時須小心，避免斷劣於T型塊)6、下氣引入(陶瓷管由腔體內部取，Bellow退出腔體時避免過渡彎曲)記錄機台目前狀況：1、抽真空時間2、真空壓力回昇速度3、RFBais(emptymagazine)4、RF反射功率Oilpumpoverhaul4、真空度測試3、更換一台pump，使線上繼續作業記錄機台目前狀況：1、抽真空時間2、真空壓力回昇速度Rootspumpoverh

4、aul基本上兩年overhaul一次，視使用狀況而定電極清洗4、性能測試3、更換一組清洗過的電極記錄機台目前狀況：1、偏壓、反射功率2、真空度玻璃shield清洗記錄機台目前狀況：1、偏壓、反射功率2、真空度3、拆下電極及四週shield的玻璃，用酒精擦拭(抽氣孔先遮蓋，避免玻璃碎片掉落)4、性能測試MFC校正送回原廠校正