特气系统安全操作规范方案

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1、WORD格式可编辑1.目的Purpose1.1本操作作业规范目的在建立一套完整的特气系统操作流程，以避免人员操作错误及维护系统稳定运转并做为新进人员之教育训练教材。2.管制范围Scope2.1本操作规范适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引。3.管理职责Responsibility3.1厂务单位最高主管3.1.1协调并提供各单位因产品生产所需之厂务服务内容。3.1.2综理厂务系统运转所需资源管理,含人员/物料/预算等。3.1.3引进创新之厂务系统或管理知识。3.2厂务单位主管3.2.1执行厂务系统维护保养制度及系统教

2、育训练。3.2.2维持稳定的厂务供应系统所需之人员出勤管理。3.2.3厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。3.2.4厂务系统异常事故追踪查核处理结果3.3厂务系统工程师:3.3.1负责特气供应系统之正常运转及改良维护。3.3.2负责厂务与机台设备间Hookup(二次配管)工程之施工与协调事宜。3.3.3厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。3.3.4担任所负责系统之教育训练讲师。3.4厂务轮班工程师:3.4.1负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。3.4.2执行各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业。3.

3、4.3更换厂务系统所提供或所需之原物料及产生之废弃物。专业知识整理分享WORD格式可编辑1.1.1厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。2.定义Definition2.1SG:SpecialGas(特殊气体)。3.作业内容Procedure3.1日常记录与报告要求5.1.1定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师。5.1.2统计气体，每日/周/月用量。5.1.3统计气瓶、库存量，原则上现场要有足够15天运行库存量。5.1.4整理特气系统仪器仪表（Gasdetector、PT等）的校正记录。5.1.5提供日常巡检报

4、告、维护报告及事故报告。5.2日常运转事项5.2.1气体钢瓶的更换（含硅烷、氢气站，特气房内）。5.2.2N2Yard(大宗气体气站：N2)灌充作业前、后系统及压力，液位确认检查5.2.3特气系统仪器仪表（Gasdetector、PT等）的定期校正。5.2.4紧急应变：包括Trouble-shooting，报警故障处理，紧急事故反映及处理。4.表单Form特气系统点检表序号项目情况记录REMARKYESNO其它　1检查设备、房间排风是否正常？　　　　2检查门锁、窗锁是否正常？　　　　3检查设备外观是否正常？　　　　4危险标

5、识是否剥落？　　　　5阀件编号是否有误？　　　　6巡视管道状况、标签是否脱落　　　　7确认N2吹扫盘是否正常？　　　　8确认CDA、GN2供应压力是否正常？　　　　专业知识整理分享WORD格式可编辑9检查PIGTAIL是否被损坏或污染？　　　　10检查加热系统是否正常　　　　LocalScrubber检查保养计划表检查、保养项目检查、保养频率每天每周双周每月每季每年检查主电源(Mainpower)电压○检查加热器#1,#2的温度○检查氮气、流量○检查注入、排气压力△确认错误(Error)状态△检查传感器High，Low状态

6、○检查指示灯工作状态○检查各导管有无粉尘堆积△压力计是否需更换☆检查是否需更换传感器、控制器☆检查是否需更换继电器、风扇☆备注：“○”：值班技术人员可以单独进行维护操作“△”：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护“☆”：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护Sensor检查保养表检查、保养项目检查、保养频率专业知识整理分享WORD格式可编辑每天每周双周每月每半年每年通过监视屏幕观察Sensor的状态○更换Sensor△检查吸气泵是否故障☆检查热裂解模块是否故障☆检查模/数转换模块是否故障☆备注：“○”：

7、值班技术人员可以单独进行维护操作“△”：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护“☆”：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护气瓶柜/架检查保养计划检查、保养项目检查、保养频率每天每周双周每月每半年每年检查气瓶的压力、重量○检查设备、房间排风是否正常○检查门锁、窗锁是否正常○检查外观是否正常○危险标识是否剥落○设备标识是否剥落○专业知识整理分享WORD格式可编辑阀件编号是否有误○巡视管道状况、标签是否脱落○确认所有气动阀、手动阀、调压阀是否正常☆确认CDA、GN2供应压力是否正常☆确认N2吹扫盘是否正常☆压

8、力传感器和真空传感器校正☆察看PIGTAIL是否被损坏或污染☆核检故障报警装置是否正常☆核检关机报警装置是否正常☆检查加热系统是否正常☆核检左右供气自动切换装置是否正常☆仪表校正☆备注：“○”：值班技术人员可以单独进行维护操作“△”：值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护“☆”：值班技术人员在部门