引线键合超声换能系统设计地研究

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2、SDUCERSYSTEMFORWIREBONDINGbyChenJianSupervisor:Prof.WuYiMinMarch2012......原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师指导下，进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本学位论文不包含任何他人或集体已经发表的作品内容，也不包含本人为获得其他学位而使用过的材料。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人或集体，均已在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律责任由本人承担。学位论文作者签名：日期：关于学位论文版权使用授权的说明本人完全了解河北工业大学关于收集、保存、

3、使用学位论文的以下规定：学校有权采用影印、缩印、扫描、数字化或其它手段保存论文；学校有权提供本学位论文全文或者部分内容的阅览服务；学校有权将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索、交流；学校有权向国家有关部门或者机构送交论文的复印件和电子版。（保密的学位论文在解密后适用本授权说明）学位论文作者签名：日期：导师签名：日期：......河北工业大学工程硕士学位论文引线键合超声换能系统设计研究摘要本文以提高引线键合设备的性能、封装质量和超声波能量的利用效率作为研究目标，针对芯片封装技术领域引线键合用高频超声换能器的设计方法以及驱动电源的设计做了较详尽的研究。全

4、文工作和取得的成果如下：基于一维平面波动理论,运用机电等效原理建立起换能器和聚能器系统的数学解析模型，推导出其纵向振动频率方程，建立了压电换能器系统的机电等效电路，设计高频超声换能器的初始拓扑模型，借助有限元分析软件对换能器整体作谐振特性分析，通过参数化建模方法进行优化设计，最终建立了压电换能器的最优模型。基于CPLD技术，对引线键合超声换能系统驱动电源进行了软硬件设计，驱动电源具有频率跟踪、功率放大和阻抗匹配等功能。搭建了实验系统，借助阻抗分析仪对所设计的压电换能器进行阻抗特性测试，结果表明，实验与有限元分析有良好的一致性。并进行了引线键合超声换能系统振动传递

5、特性试验，验证了引线键合超声换能系统设计的有效性。本文的研究工作为引线键合设备的进一步研究奠定了基础，也为相关超声换能系统的相关研究提供了一些实践经验。关键词：引线键合,高频超声换能器,阻抗匹配电路,数字锁相环I......引线键合超声换能系统设计研究RESEARCHONULTRASONICTRANSDUCERSYSTEMFORWIREBONDINGABSTRACTInthisdissertation,theauthoramplifythedesignmethodologyofhigh-frequencyultrasonic transducersforwire

6、bondingtechnologyintheareaofchippackagingandthedesign methodologyofdrivingpower,inordertoimprovetheperformanceofthewirebonding equipment,thequalityofpackagingandtheenergyutilizationefficiencyofultrasonic.The followingworkshavebeenaccomplished.Basedonone-dimensionaltheplanewavetheory;

7、ananalyticalmathematicalmodelson transducer-concentratorsystemhasbeenbuiltbyusingelectromechanicalequivalenceprinciple. Thelongitudinalvibrationfrequencyequationshavebeendeduced.Theelectromechanical equivalentcircuitofpiezoelectrictransducersystemhasbeenbuilt.Theinitialtopologymodelo

8、f high-frequ