无尘室计划书1215

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1、一、无尘室常用名词二、无尘室等级定义三、无尘室测试范围四、现场环境要求五、无尘室规划六、无尘室管理目录01〜0405〜910^141516-2121〜23•、无尘室常用名词1.1.无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。1.2.微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响,才是有用的数据。1.3.

2、外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。1.4.内部污染源:无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的部污染源一般是操作员工。1.5.隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如Class100,Class10,Class1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。1.1.稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在Class10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打

3、转，要比较长的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁浄度控制在某一等级之下就可以了，不要求把人员与制程隔开。1.2.气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。巾于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁浄度。1.3.单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁浄度无尘室需要单一流向型气流。1.4.非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本

4、。1.5.As-builtcleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁?争室，但并没有设备及操作设备的人员。1.1.At-restcleanroom（准备中的无尘室h已经完成且可以操作，所有相关支符设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，但没有操作设备的人员。1.12.Operationalcleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。:、无尘室等级定义使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下:Cl

5、assX(atYum)其中X是无尘室的等级，例如100或l(X)00等等，Y是粒径如0.2um,0.5um等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：Classl(0.1um,0.2um,0.5um)Class100(0.2um,0.5ym)Class100(0.1um,0.2um,0.5um)在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，10000"")，—般看一个粒径即可。在ClassesLessthan100(M3.5)(Class10,1…•)，一般要看多几个粒径。第二个技巧

6、是规定无尘室的状态，例如：ClassX(atYpm),At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干浄，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：Class10000(0.3um<=10000),As-builtClass10000(0.5um〈=1000),As-built这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力。以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义，和ISO-14644的等级定义。Fed-Std-209E洁净度定义ClassNameCla

7、ssLimits0.1um0.2um0.3um0.5umSumVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsSIu.s.(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m：i)(ft3)Ml3509.9175.72.1430.90.87510.00.283—一M1.511,24035.02657.501063.0035.