第十二讲真空工艺.doc

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1、第十二讲真空工艺第十二讲真空工艺　　真空技术及应用系列讲座东北大学真2工程博士点，博士导师杨乃恒先生主持第讲具空科学的发展岭其应用第讲空物理基第讲机械真空栗六第讲蒸汽流江个闱第讲5体捕集式真卞泵第六讲真空测量第讲真空检漏第讲真空系统设计第九讲岗仝系统组成元件第十讲空密封第十1讲空衬利张以沈第十讲真空工艺张以忱东北大学，辽宁沈阳00061.3.3靡先介济，选择接203年第3第65贝在溶剂清洗方法中，根据波清洗材料及污染物的性质来选择合返有效的清洗剂和溶剂是溶剂清洗方法中的个义键，清洗溶剂常常是彼此不相容的，所以在使用另种清洗液前，必须先从面上完全清除这种清洗液在清洗过程中，

2、清洗液的顺序必须是化学上相祚的和可溶浞的，而。在各阶段都没有沉淀，1.3.4清洗程序及注意事项不管用何种清洗方法，清洗时必须按定的顺序进行操作但是同种清洗方法的清洗程序也并不定相同要根据达到的清洁等级程度来确定具体的清洗程序。对批量处理，可建立流程。　　必须注意些特殊步骤的处理例如当清洗中，由酸性洛液改为碱性洛液。其间要用纯水冲洗，有含水溶液换成有机液，总是需要用种溶混的助溶剂如无水乙醇丙酮等脱水剂进行中间处理清洗过程中的化学腐蚀剂以及腐蚀性清洁剂只允许在面上停留很短时间。清洗程序的最后步必须小心完成当用湿法清洗时，最后所用的冲洗液必须尽可能的纯，通常它应该是易挥发的。最

3、后需注意的是上清洁的血+耍放置作无保护处洳汜沾洗后1.4非金属材料的清洗1.4.1玻璃陶瓷的洁洗玻璃及陶瓷件最常用的清洗方法是溶剂清洗法玻璃陶瓷部件的预清洗，通常由在清洗液中浸泡清洗开始，并辅以刷洗擦拭或超声波搅动，然后用去离子水软化纯净水咸无水乙醇酒精冲洗重要的是，当清洗后的部件干燥时，不允许溶液沉淀物留在部件面上，因为去除沉淀物常常是困难的。　　对于面清洁度要求很的玻璃陶瓷部件，最后要在真空环境中进行烘烤加热处理等离子辉光放电处理等方法，1.4.2塑橡胶的清洗1.4.2.1有机玻璃及猬抖的清洗有机玻璃和塑料的清洁需要特殊的技术处理，因为它们的热稳定和机械稳定性都低低分

4、子量碎粒面油脂手汉指纹等，都可覆盖有机玻璃面。　　大多数染物可以用含水的洗涤剂洗排。或者用其它的溶剂清除应注意的是，用洗涤剂或溶剂清洗的时间+能过长，以免它们被吸附到聚合物结构中，促使其膨胀，并可能在干燥时开裂因此，在清洗应尽可能汴以软性液体以泡和冲洗，和有机玻璃的面有好处，这种处理除了使面产生微观粗糙外，还可以引起面的化学活化作用和交联特别是交联作用对面有利，它增加了聚合物因此，选择适当的清洗液，较短的清洗时间，以及在粒子轰击或辐射中仔细地确定能量限度和恰当的剂量，对取得最佳清洁结果都是重要的1.4.22橡胶材料的清洗真空橡胶般不受稀酸溶液碱溶液和酒精的腐蚀，但会受到硝

5、酸盐酸丙酮以及电子轰击的严重损害。所以真空橡胶件般可用无水乙醇清洗，然厂放在千净处自然丁如果汕污较重或部件体枳较人测可在之似的氢闱化钠洛液煮价⑴，取出后用自来水冲洗，然后再用去离子水或蒸馆7幻冲洗，最后用洁净的空气吹千或烘干。　　2真空材料的除气2.1材料除气的基本方法21.1烘烤除气可进入固体面较深处，电子具有的大部分能量以热能形式传给固体。使吸附在面上的原子从面上释放出来，1时电子轰击将衣面加热，促使内部原子以面扩，并从面解吸面电子轰除气的屯广拒量般在101以电子轰击除气与烘烤加热除气的机理并没有本质的区别，者的出气速率最终都受材料体内杂质原面扩散速率的限制，1！个不

6、同的是，加热除气对材料面氧化膜的破坏很小，因为大多数金属试化物的化学稳定性较好，般不4热离解，当加热除气，试化膜主要依化从金，体扩散出来的碳原子的还原作用来清除，山于碳原子的扩故系数很小，因而这种还原过程似忪许客金属，真宁中经过1000的长时间加热，面仍留有，化，只有些活性金属如21.丁1等在加热过程中，其面与加热不同，电子轰击对氧化膜的破坏非常迅速材料面的氧化膜在电子轰击下很快离解并清除，体内的氧随之向面扩散补充与加热除气相真空中的烘烤系指在抽气循环的某阶段中，将空系统升温，随后又使之降到环境温度的过程。烘烤的注意目的是使吸附的气体从被加热的面上解吸，而且其解吸速率要远

7、远大于在环境温度下的解吸速率，对解吸出的气体，用真空泵从系统中排除烘烤的好处是能在规定的抽气时间内达到较比，电子轰击除气的起始出气速率很高，般要比热除气大几到十几倍除气汗始阶段放出的合氧气体占大多数，约占总出气量的909观。当被轰击金属的温度超过40时，放出的气体中拉的量增大到232.1.2.2电子轰击固体面时的基本过程电子轰击固体面时会产生许多复杂的现象低的压力；或为达到规定的压力，所用的总抽气时间较短在很多情况下，只需烘烤真空系统的某些局部部位即可达到目的。常的例子有电离计规管在烘烤去气后，能更精确地进行真空测量；超高真空