真空材料放气

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1、为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划真空材料放气　　实验3：真空镀膜及材料生长　　周震亚　　华中科技大学物理学院应用物理1101班UXX10249　　摘要：真空直流溅射镀膜金属薄膜的吸光度/透射率金属薄膜结构和形貌　　实验内容：　　1.根据提供的设备和材料，制定清洗衬底的方案　　2.采用小型直流溅射仪，在清洗干净的衬底上制备金属铜薄膜和银薄膜　　3.运用紫外分光光度计，测量金属薄膜的吸光度/透射率，分析与制备工艺之间的联系　　实验原理：　　真空知识简介　　“真空”是指低于一个大气压的气体状态。

2、在真空技术中，以“真空度”来表示气体的稀薄程度，真空度越高，气体压强越低。通常气体的真空度直接用气体的压强来表示，常用单位为帕斯卡或毫米汞柱——简称乇，它们之间的关系为：　　1毫米汞柱=1乇=133帕斯卡。目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划真空材料放气　　实验3：真空镀膜及材料生长　　周震亚　　华中科技大学物理学院应用物理1101班UXX10249　　摘要：真空直流溅

3、射镀膜金属薄膜的吸光度/透射率金属薄膜结构和形貌　　实验内容：　　1.根据提供的设备和材料，制定清洗衬底的方案　　2.采用小型直流溅射仪，在清洗干净的衬底上制备金属铜薄膜和银薄膜　　3.运用紫外分光光度计，测量金属薄膜的吸光度/透射率，分析与制备工艺之间的联系　　实验原理：　　真空知识简介　　“真空”是指低于一个大气压的气体状态。在真空技术中，以“真空度”来表示气体的稀薄程度，真空度越高，气体压强越低。通常气体的真空度直接用气体的压强来表示，常用单位为帕斯卡或毫米汞柱——简称乇，它们之间的关系为：　　1毫米汞柱=1乇=133帕斯卡。目的-通过该培训员工可对保安行业有初

4、步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　在物理学中，真空度分为粗真空，低真空，高真空，超高真空和极高真空。　　直流溅射镀膜技术　　所谓“溅射”是指荷能粒子轰击固体表面，使固体表面的原子从表面射出的现象。这些从固体表面射出的粒子大多呈原子状态，通常称为被溅射原子。常用的轰击靶材的荷能粒子为惰性气体离子和快速中性粒子，它们又被称为溅射粒子。溅射粒子轰击靶材，从而使靶材表面的原子离开靶材表面成为被溅射原子，被溅

5、射原子沉积到衬底上就形成了薄膜。所以这种薄膜制备技术又称为溅射法。溅射法基于荷能粒子轰击靶材时的溅射效应，而整个溅射过程都是建立在辉光放电的基础之上，即溅射离子都来源于气体放电。不同的溅射技术所用的辉光放电方式有所不同。直流溅射法利用的是直流电压产生的辉光放电；射频溅射法是利用射频电磁场产生的辉光放电；磁控溅射法是利用平行于靶材表面的磁场控制下的辉光放电。　　简单的直流二极溅射法可以镀金属、合金以及一些低导电性的材料，但是不能直接镀绝缘材料。本实验采用直流溅射法制备金属薄膜，其相关设备示意图如图所示，实验中需要用机械泵对镀膜室抽真空后，方可进行镀膜。　　薄膜的形成过程

6、目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　薄膜的形成过程直接影响薄膜的结构及它最终的性能。薄膜的形成划分为两个不同的阶段，即新核的形成和薄膜的生长过程。新核的形成一般分为自发成核和非自发成核。前者是指整个形核过程完全是在相变自由能的推动下进行的，后者是指除了有相变自由能做推动力之外，还有其它因素帮助新相核心生成的作用。薄膜的生长过程一般有三种模式，如图4所示：　　一是层状

7、生长模式。当被沉积物质与衬底之间浸润性很好时，被沉积物质的原子更倾向于与衬底原子键合。因此，薄膜从形核阶段开始即采取二维扩展模式，沿衬底表面铺开。在随后的过程中薄膜生长将一直保持这种层状生长模式。　　二是岛状生长模式。被沉积物质的原子或分子更倾向于自己相互键合起来，而避免与衬底原子键合，即被沉积物质与衬底之间的浸润性较差；金属在非金属衬底上生长大多采取这种模式。对很多薄膜与衬底的组合来说，只要沉积温度足够高，沉积的原子具有一定的扩散能力，薄膜的生长就表现为岛状生长模式。　　三是层状-岛状生长模式。在层状-岛状中间生长模式中，在最开始一两个原子层厚度的