单晶车间事故应急预案

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1、单晶车间事故应急预案停电事故一.供电公司计划停电(检修设施,计划供电等)针对以上情况,需要注意以下几个方面:1、供电公司必须提前二天通知公司配电负责人,确定停电,送电的时间及停电的线路等;公司配电负责人通过行政办向相关部门发文通知;2、单晶车间根据单晶炉的每炉拉晶时间,决定各炉的停炉时间,在停电之前5小时必须停炉冷却,防止停电时炉体过热。3、停电时,相关部门安排人员仔细检查电器,供水系统是否正常,单晶车间对单晶炉进行维修保养。二.突发性停电在正常生产过程中出现突然断电,当班组长首先保持冷静,做出正确指挥1.班组长工

2、作内容:发生断电后立即前往一楼开启备用电源(指定熟悉备用电源的员工),在备用电源也无电时,立即启动柴油发电机,启动后观察发电机电压380V稳定后,合上送电开关。保证冷却水的正常供应。送水后指导辅助工协同操作工注意各炉台水压变化,水压在2.5-3.0,如有异常及时上报班长及相关部门。在一楼送电的同时,组织现场抢救工作,各炉台操作工处理好自己的炉台,检查是否处理得当。等待来电的同时安排好岗位工作,操作看好炉内变化记录结晶时间。停电时采取的措施:若炉子工作时,加热部分停电:第7页共7页1、在控制面板上点击工序重置【此时U

3、PS自动供电给籽晶马达,坩埚马达。在自动状态下(在引晶之后):180S之后,籽晶自动上升100mm,坩埚自动下降50mm。但是在180S之内退出自动或在手动状态下则不会有以上动作。】使其转换为手动状态,关闭所有转动开关,降低埚位50mm左右,,使晶体脱离液面.加热电源转换为功率控制,然后将功率调整至零。2、如果断电时间较短,液面未结晶或已结晶且小于4分钟则重启加热电源,将功率慢慢的升至熔料功率融化结晶面如果晶体长度小于我们规定的长度,则进行回熔处理,如果大于规定的长度则按照一段标准取出,然后在进行引晶等工作。控制电

4、源断电的处理方法:1、控制电源断电;在控制面板上点击工序重置,使其转换为手动状态,降埚位50mm左右,使晶体脱离液面.2、如果控制电源无法恢复供电,当不能及时恢复通电时,则必须关闭加热器,关闭S/L、S/R、C/L、C/R,提升晶棒脱离液面,升高坩埚位置(液面结晶后半小时顶起热屏),充氩气至常压自然冷却。3、控制电源恢复供电,液面未结晶或已结晶且小于4分钟则重启加热电源,将功率慢慢的升至熔料功率融化结晶面,打开S/L、S/R、C/L、C/R,在打开S/R晶转和C/R埚转之前确保S/R和C/R电位器处于零位。如果我们

5、等径长度大于规定的长度则按照一段标准取出,然后在进行引晶等工作,如果晶体长度小于我们规定的长度,则进行回熔处理三.来电后班组长现场指挥工作:第7页共7页a.电源恢复时,立即开真空泵,待半分钟后开抽空阀门,将氩气流量恢复正常。b.若时间较短(液面未结晶或液面已结晶但小于10分钟且石英坩埚未破),按加热功率开,将功率升至熔料功率。c.若时间较短(液面未结晶或液面已结晶但小于10分钟且石英坩埚未破),按加热功率开,将功率升至熔料功率。d.熔化结晶面,在此期间应密切注意硅料液面熔化情况,一旦发生硅液面下降,立即停炉并上报管

6、理人员。e.晶体处理同晶变单晶一致,待结晶全熔后,手动调节功率为引晶功率,温度稳定后,开始引晶作业。f.若停电时间较长(液面结晶已经大于10分钟或石英坩埚破裂),快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。g.在熔体结晶40分钟时,快速提升坩埚,使坩埚顶起导流筒100mm(埚内原料不足30kg不必顶起)。停炉,充分冷却后拆炉。重点提示:如若显示电脑控制面板和加热部分电源一起出现断电,操作员工应该头脑冷静,必须在2分钟内关闭炉台下部氩气球阀,防止炉台副室门自动冲开,引起重大事故。漏硅的应急处理:1.立即关闭功

7、率。2.退出控制柜面板上单晶生长控制器,使其处于手动状态。3.关闭埚转。4.快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。5.在熔体结晶40分钟时,如有可能,快速提升坩埚,使坩埚顶起导流筒100mm。6.关闭真空泵抽气蝶阀,防止硅液进入管道,开启副室球阀进行抽空,等液面结晶后再开启主室蝶阀,关闭副室蝶阀。7.检查各处电线是否紧靠着受热抽空管道,防止引起电线明火。8.停炉,充分冷却后拆炉。重点提示:做好前几步后,氩气充到常压第7页共7页的一半左右,使其自然冷却,处理完成后去炉台下观察坩埚轴波纹管是否破裂漏硅,真

8、空管道、波纹管边上是否有电线紧挨住,有无起火等安全隐患,其它地方也要仔细观察,如有异常及时做出处理。停水事故(供水设备故障,水泵控制电路故障,管路故障,水池缺水,停电)发生停水时采取的措施:发生停水时,立即打开停水炉子的事故水进水阀(一般为消防水,)。1.当炉台水压不够或完全停止的时候,炉台会做出自我保护措施停止加热从而出现DC电源打火报警.2.如果水压不能

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