电子束加工论文

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1、电子束加工的特点及其应用数控101张致远0403101142摘要：电子束加工简称EBM,是以高能电子束流作为热源，对工件或材料实施特殊的加工，是一种完全不同于传统机械加工的新工艺。它们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。随着科学技术的发展，电子束加工技术必将有一片广阔的应用前景。关键词:电子束原理应用发展前景1概述：1.1加工原理电了束加工是由徳国的科学家K.H.施泰格瓦尔特于1948年发明的。其加工原理是在真空条件下，利用聚焦后能量密度极高的电子束，以极高的速度冲击到工件表而极小的而积上，在很短的时间（几分之一微秒）内,其能量的大部分转变为热能，使被冲击部分的工件材

2、料达到几千摄氏度以上的高温，从而引起材料的局部熔化和气化，被真空系统抽走的加工技术。由于电子束和气体分子碰撞时会产生能量损失和散射，因此，加工一般在真空中进行。电子束加工机由产生电子束的屯子枪、控制电子束的聚束线圈、使电子束扫描的偏转线圈、电源系统和放置工件的真空室，以及观察装置等部分组成。先进的电子朿加工机采用计算机数控装置，对加工条件和加工操作进行控制，以实现高精度的自动化加工。电了束加工机的功率根据用途不同而有所不同，i般为儿千瓦至几十「瓦。1・2电子束加工分类按照电子束加工所产生的效应，可以将其分为两大类：电子束热加工和电子束非热加工。1.2.1电子束热加工电子束热加工是将电子束的

3、动能在材料表面转化成热能，以实现对材料的加工，其中包括：1）电子束精微加工。可完成打孔、切缝和刻槽等工艺，这种设备一般都采用微机控制，并且常为一机多用；2）电子束焊接。与其他电子束加工设备不同之处在于，除高真空电子束焊机Z外,还有低真空、非真空和局部真空等类型；3）电子束镀膜。可蒸镀金属膜和介质膜；4）电子束熔炼。包括难熔金属的精炼，合金材料的制造以及超纯单晶体的拉制等；5）电了束热处理。包括金属材料的局部热处理以及对离了注入后半导体材料的退火等。上述各种电子朿加工总称为高能量密度电子朿加工。1.2.2电子束化学加工电子束化学加工乂称作电子束非热加工是基于电子束的非热效应，利用功率密度比较

4、低的电子束和电子胶（又称电子抗蚀剂，由高分子材料组成）相互作用产生的辐射化学效应对材料进行加工。该加工方法的应用的领域主要是1）扫描电子束曝光，用电子束按所需的图形，以微机控制进行扫描曝光，其特点是图形变换的灵活性好，分辨率高;2）投影电子束曝光，这是一种大面积曝光法，由光电阴极产生大面积平行束进行曝光，其特点是效率高，但分辨率较差;3）软X射线曝光，软X射线由电子束产生，是一种间接利用电子束的投影曝光法。电子束化学加工方法是先在待加工材料表面涂上具有高分辨率和高灵敏度的化学抗腐蚀涂层，然后通过计算机控制电子束成像电镜及偏转系统，聚焦形成高能电了束流，轰击涂有化学抗腐蚀涂层的材料表面，形成

5、抗腐蚀剂图形，最后通过离子注入、金属沉淀等后续工艺将图形转移到材料表血。2电子束加工的主要应用2.1电子束焊接当电子束功率密度达105~106W/cm2时，电子束轰击处的材料即局部熔化；当电子束相对工件移动，熔化的金属即不断固化，利用这个现象可以进行材料的焊接。电子束焊具有深熔的特点，焊缝的深宽比可达20:1甚至50:lo这是因为当电子束功率密度较大时，电子束给予焊接区的功率远大于从焊接区导走的功率。利用电子束焊的这一特点可实现多利特殊焊接方式。利用电子束几乎可以焊接任何材料，包括难熔金属（w、Mo、Ta、Nb）、活泼金属（Be、Ti、Zr.U）、超合金和陶瓷等。此外，电了束焊接的焊缝位置

6、精确可控、焊接质量高、速度快，在核、航空、火箭、电子、汽车等工业中可用作精密焊接。在重工业屮，电子束焊机的功率已达100千瓦，可平焊厚度为200毫米的不锈钢板。对大工件焊接时须采用大体积真空室，或在焊接处形成可移动的局部真空。2.2电子束蚀刻和电子束钻孔用聚焦方法得到很细的、功率密度为106~108W/cm2的电子束周期地轰击材料表面的固定点，适当控制电子束轰击时间和休止时间的比例，可使被轰击处的材料迅速蒸发而避免周围材料的熔化，这样就可以实现电子束刻蚀、钻孔或切割。同电子束焊接相比，电了束刻蚀、钻孔、切割所用的电子束功率密度更大而作用时间较短。电子束可在厚度为0.1〜6毫米的任何材料的薄

7、片上钻直径为1至几百微米的孔，能获得很大的深度一孔径比，例如在厚度为0.3毫米的宝石轴承上钻直径为25微米的孔。电子束还适合在薄片（例如燃气轮机叶片）上高速大量地钻孔。2.3电子束熔炼电子束熔炼法发明于1907年，但直到50年代才用于熔炼难熔金属，后来乂用于熔炼活泼金属（如Ti锭）和高级合金钢。电了束加热可使材料在真空中维持熔化状态并保持很长时间，实现材料的去气和杂质的选择性蒸发，可用来制备高纯材料。电子朿加热是电能转为