[精品]电控系统使用说明书

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1、肌級制备菽备电控系铳使用说现吊沈阳世昂真空技术有限衣司第一章概述—系统构成该电控系统是为阴极制备设备控制而设计的一套专门系统，它主要包括总控电源（附带加热控温电源）、分子泵电源、离子泵电源、升华泵电源和复合真空计。上述所有电源已安装在工作台上。—主要功能和指标1总控电源为系统所有用电设备供电以及对机械泵和升降机等的控制。说明：（1）升降机的上升和下降互锁，即上升下降不会同吋工作；（2）机械泵与分子泵联锁，即必须在机械泵启动后分子泵方可启动。2加热控温电源对烘箱进行加热控温，并具有超温报警保护和声音提示。其主要指标如下：（1）控温范围：室温一400°C；（2）测温精度：±0.i°

2、Co3配套分子泵，离子泵及复合真空计都有相应说明书。第二章安装一供电要求：该电控系统需三相四线380V(50Hz)工业动力电，总功率小于12KW。供电要求：“总控电源”:电压:3相380V(50Hz)容量：12KVA要求：由3P32A空气开关供电(空气开关采用工业用动力型)，连接电缆采用四芯橡套：4.0mm2X3+2.5mm2Xl(厂方已配)—安话1工作台接线工作台内部线已有厂方人员接好，只需按照线两端标号对应接好即可，切勿接错，以免短路，其至损坏设备。2系统接地线将工作台后的接地端与实验室专用地线接地点牢靠接好。注：地线必须接，而且要接牢靠第三章操作一检查在系统上电之前必须对

3、各路接线进行认真仔细检查，确认无误。尤其要垂点检查核对交流供电电源接线是否正确,系统接地是否牢靠。1使用操作安全注意事项设备操作人员必须高度重视电气安全问题，严格遵守用电安全规程，防止电气事故造成人身伤害或设备损坏。（1）严禁带电拆卸接线端子、焊片、接插件等电气连接件！（2）严禁带电打开电源机箱，接触任何电器元件！禁止无电气技术资格和相关经验者从事本说明书允许的故障排除工作。（3）设备必须可靠接地。本系统中所有设备装置的金屈外壳都应可靠接地（包括主机真空设备及两个电源机柜）。各部分电控装置按要求实行单闸（空气开关）供电，不允许一闸多用。（4）经常对设备进行安全检查，确保电控单元

4、绝缘良好，有可靠的接地或接零保护，检查有无漏电情况、绝缘老化情况；定期进行电气设备和保护装置的检查、检修、试验及清扫，防止造成电气设备事故和误动作。注意：务必事先断开所有电气设备的电源！（5）更换保险丝时需断电进行。二系统上电合上为该系统供电的实验室开关柜上对应的空气开关,并闭合总控电源侧面的空气开关与总控电源后面板上的电源开关（船型开关），总控电源前面板“上电指示”灯亮。三电气控制操作按下总供电启动按钮开关，则为系统中各电子仪器仪表、真空泵和各个电控单元提供了供电电源和控制电源:（1）AI-518P控温表进入上电状态。（2）对控温表进行基本设置（详情见控温表说明书），厂方已设

5、置好。（3）在控温表上设定加热温度（具体操作见控温表说明书）。（4）按下加热控制的启动按钮开关，则开始加热升温，到达设定的目标值即进入恒温控制调节。其余操作见各配套电源使用说明书相关部分。关机过程与上述开机过程相反。第四章维护由于该系统设计制造调试比较精心，电控系统是稳定可靠的。只要用户严格按照本说明书所阐述的操作程序和注意事项进行操作，通常不会出现什么重大故障。偶尔出现一次毛病大都是接插件接触问题，或者保险丝烧断等方面的小故障，一般来说，用户都有能力自己动手维护。现就儿点关键注意事项在此再次强调如下：1.当系统带电时严禁对任何接插件进行插拔操作！2.系统务必接牢地线！3•外供

6、电交流电源必须正确，功率必须保证规定标准。4.更换保险丝时需断电进行CZ1VCNDiTAKM_'TA12syjdq-无水总供电1C7C升降机分子泵ii:I5C1RI)L2C3C2RI)7CIC2C5C电风扇电源盒H°[复合真空计控温电源复合分了泵0£0■n【离子泵CTZ1CTZ2CTZ3CTZ4CTZ5X4C3”6C"KF232425SG+■热电偶715；；FP93；11(COM)l[拨码开关C1248