GBT26072-2010-太阳能电池用锗单晶.pdf

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1、ICS29．045H82霭目中华人民共和国国家标准GB／T26072--20102011-01—10发布太阳能电池用锗单晶Germaniumsinglecrystalforsolarcell2011—10-01实施丰瞀粥鬻瓣訾矬瞥星发布中国国家标准化管理委员会仅19刖置GB／T26072--2010本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC／TC203／SC2)归口。本标准由云南临沧鑫圆锗业股份有限公司负责起草。本标准由南京中锗科技股份有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司、北京国晶

2、辉红外光学科技有限公司、厦门乾照光电有限公司参加起草。本标准主要起草人：惠峰、普世坤、包文东、郑洪、张莉萍、孙小华、苏小平、王向武。1范围太阳能电池用锗单晶GB／T26072--2010本标准规定了太阳能电池用锗单晶棒的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单内容。本标准适用于垂直梯度凝固法(VGF)和直拉法(cz)制备的太阳能电池用锗单晶滚圆棒。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期

3、的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB／T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB／T1555半导体单晶晶向测定方法GB／T4326非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法GB／T5252锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法GB／T14264半导体材料术语GB／T14844半导体材料牌号表示方法og／T26074锗单晶电阻率直流四探针测量方法3术语GB／T14264界定的术语和定义适用于本文件。4要求4．1分类锗单晶棒按导电类型分为12型和P型两种类型。4．2牌号锗单晶棒的牌号表示按GB

4、／T14844的规定。4．3外形尺寸锗单晶棒的外形尺寸应符合表1的规定，如客户对外形尺寸有特殊要求，供需双方另行商定。表1单位为毫米I直径j76．2≠100I直径及偏差76．2士0．2100士0．2I长度≥50GB／T26072--20104．4电学性能锗单晶棒的电学性能应符合表2规定。表2导电类型掺杂元素电阻率范围／(a·cm)载流子浓度／cm-3，镓、铟≤o．05≥1×10”n锑、砷≤0．05≥1×10174．5晶向及偏离度锗单晶棒的晶向取向为：<100>向<111>偏a土o．5。；<100>向<110>

5、偏p±0．S。。4．6外观质量锗单晶棒滚圆后的棒体表面及棒的两个截面上不允许存在超过2mm2的崩痕或崩边，棒体表面无星形结构、六角网络、孔洞和裂纹。4．7位错密度和分布要求4．7．1位错密度不同规格的锗单晶按位错密度分为两个级别，用A级、B级表示，单晶棒的位错密度应符合表3的规定。表3级别A级B级位错密度／(个／cm2)<500500～3ooo4．7．2分布要求在单晶棒尾部检测样片直径2mm的边缘内不允许出现超过1mm长的位错排或面积超过0．5mm2的位错团。如在晶棒尾部检测样片直径2mm的边缘外出现上述位错

6、排或位错团，则不允许位错排或位错团是向晶棒轴心方向延伸的。5试验方法5．1导电类型检测按照GB／T1550或者GB／T4326规定的测量方法进行测量。5．2外形尺寸检测用精度为0．02mm的游标卡尺进行测量。5．3外观质量用目视法进行观察和测量。25．4电阻率检测GB／T26072--2010按照GB／T4326或者GB／T26074规定的测量方法进行测量。5．5载流子浓度检测按照GB／T4326规定的测量方法进行测量。5．6单晶晶向及晶向偏离度检测按照GB／T1555规定的测量方法进行测量。5．7位错密度检

7、测按照GB／T5252规定的测量方法进行测量。6检验规则6．1检验和验收6．1．1产品应由供方技术(质量)监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定，并填写产品质量证明书。6．1．2需方可对收到的产品按本标准的规定进行检验，若检验结果与本标准(或订货合同)的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。6．2组批每根锗单晶棒作为一个组批。6．3检验项目及取样首先对每个组批进行导电类型、外形尺寸及外观质量的检验，然后在合格的每根单晶棒的头尾部各切一片(晶片)进行电阻率、

8、载流子浓度、晶向及晶向偏离度的检验，从尾部切一片进行位错密度和分布的检验，检验项目、取样及判定依据见表4。表4序号检验项目取样规定要求条款号试验方法规定1导电类型4．15．】1根2外形尺寸4．35．2(单晶棒)3外观4．65．34电阻率2片4．45．45载流子浓度(由1根单晶棒头和尾部4．45．56晶向及晶向偏离度所切的单晶片)4．55．6l片7位错类型和分布(由1根单晶棒尾部所切的4．75．7单晶