光刻机投影物镜光学镜片光机热集成的分析与软件实现

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1、AThesisSubmittedinPartialFulfillmentoftheRequirementfortheDegreeofMasterofEngineeringThermo-opto-mechanicalIntegratedAnalysisandSoftwareDevelopmentofaProjectionObjectLensSystemforPhotolithographyCandidate:FangZhenzhongMajor:MechatronicsEngineeringSupervisor:Prof.JinJianxinHuazhongUniversity

2、ofScienceandTechnologyWuhan,430074,P.R.ChinaMay,2015独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到，本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅

3、。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。保密□，在_____年解密后适用本授权书。本论文不保密□。属于（请在以上方框内打―√‖）学位论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日日期：年月日华中科技大学硕士学位论文摘要光刻机投影物镜光学镜片作为曝光系统的核心部件，其精度要求极高，常用的分析方法是将光学镜片的光机热分析采用专业软件进行分析。但不同软件之间模型或数据的交互可能会引起部分数据丢失，从而引起分析结果偏差。因而需要一种对镜片光机热进行集成分析的方法来完成各种分析类型之间的数据交互，从

4、而实现镜片的整个分析过程，缩短设计周期。本文通过对光学镜片分析过程中的机械结构分析、热分析、光学分析过程进行简单介绍并细致地阐述了它们之间的耦合关系，列出了光机热集成分析结果评价方法。从而提出一种实现镜片光机热集成分析的方法：基于ModelCenter的流程集成分析，另外通过C++Builder开发环境设计辅助软件来完善流程分析的功能。根据提出的方案，实现了镜片光机热分析模型的参数化，建立了基于ModelCenter的镜片光机热参数化集成分析流程，实现了分析过程中不同分析类型之间数据的交互及过程的自动化，得到了镜片光学分析特性图。同时开发的辅助软件完善了流程集成分析的功能，为

5、镜片光机热分析过程提供了方便的操作界面。用户根据需要设置和修改分析过程中的参数，选择合适的分析类型，运行结束后可直观查看对应的分析结果。关键词：光学镜片光机热集成分析流程辅助软件参数化I华中科技大学硕士学位论文AbstractAsacorecomponentoftheexposuresystem,theprojectionobjectlenssystemforphotolithographymusthavehighprecision.Thecommonlyusedanalysismethodsperformedthestructure,thermalanalysis,opti

6、calanalysisrelatedtotheopticallenswithprofessionalsoftware.Buttheinteractionofthemodelanddatabetweendifferentsoftwaremaycausesomedatamissed,whichcausingthedeviationoftheanalysisresult.Thereforeakindofmethodofthermo-opto-mechanicalintegratedanalysisforopticallenstocompletevarioustypesofdatae

7、xchangeandrealizethewholeanalysisprocessofthelensisnecessary,shortenthedesigncycle.Thisthesisbrieflyintroducesthemechanicalstructureanalysis,thermalanalysis,opticalanalysisprocessofopticallensanddetailedthecouplingrelationshipamongthem,puttingforwardsome