可寻址成品率的分析芯片验证流程研究

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1、IIIIIIIIIIIILlllLIHIIIllllllllllllll111IY2281807浙江大学研究生学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得浙江大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。靴敝储摊：寸Ⅳ辩嗍一ry毗月纠日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解浙江大学有权保留并向国家有关部门或机构送交本论文的复印件和磁盘，允

2、许论文被查阅和借阅。本人授权』江太堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)学位论文作者签名：R侈导师签名：签字日期：嘲y年F月≥1日签字日期：年月日浙江大学硕士学位论文致谢时光飞逝，转眼已在求是园求学将近七年。七载的求学时光，是成长和成熟的时光，虽然依旧青涩却将步入社会经受考验；七载的求学路，风雨和收获并存，这一路并不平坦但是也充满欢乐。恰逢毕业之时，我想对这些年来所有帮助过、支持过我的人道声感谢。感谢超大所的老师们。你们思想高远，为我国的科研事业无

3、私奋斗，为学生指引了正确的人生方向；你们勤恳负责，兢兢业业，是学生为人处世的榜样；你们学识渊博，诲人不倦，为超大所营造了积极向上的学习和科研氛围。尤其感谢我的研究生导师史峥老师。他在科研上作风严谨，对我的学习以及科研做出诸多帮助；在生活上以身作则，让我明白榜样和责任的意义。感谢陪伴一路的同学们、朋友们，包括实验室的杨秫巍师兄、潘伟伟师姐、林斌师兄、熊健师兄、罗凯升、李扬环、南超州、齐晶、吴承之、孙理天、刘得金、张腾、吕楠、胡龙跃等，还有陈杰、吕明洲、曹晓阳、赖英超、缪鹏程、郝保平等朋友们。从相识到相知，你们带给了我欢乐，也让我看到自己的不足。求学路上的伙伴们，因

4、为有了你们才有了精彩。感谢一直支持我的父母。你们多年来一直默默付出，养育我、教育我，鼓励我生活上勇敢向前，支持我的学业和事业。你们毫无保留的爱，像一阵暖风，总是能够吹走我天空里的阴霾。感谢你们的陪伴和宽容，感谢你们的批评和建议，让我有了这段永不磨灭的经历。申飞2012年1月浙江人学硕：1：学位论文摘要随着集成电路工艺尺寸的减小，制造缺陷对芯片成品率的影响越来越大。成品率分析芯片是一款用于分析集成电路生产线缺陷的芯片，能够辅助分析成品率下降的原因。芯片的分析结果有助于提高芯片的成品率，一方面这些结果能够指导设计人员调整电路、版图，降低版图对制造缺陷的敏感度；另一方

5、面该结果能够指导芯片制造企业调整生产线参数，降低制造缺陷的对芯片成品率的影响。为获取集成电路生产线更多信息，测试芯片上的测试单元数量大增，因此需要为测试单元设计外部逻辑电路，减少测试芯片外部引脚数目，同时辅助分析测试单元收集的信息。受开发平台限制，测试芯片的版图和电路图同步设计。本文根据测试芯片的设计流程，研究了测试芯片的验证方法和流程。本文主要针对成品率分析芯片后端验证的两个环节：LVS校验和版图后仿。文章的LVS方法将传统的LVS与形式验证相结合，能够解决成品率分析芯片中违反设计规则、版图和电路图不匹配等特殊结构的验证问题。文章设计的版图后仿工具能够为不同规

6、模的测试芯片生成仿真激励，并完成仿真结果检查。本文的LVS校验和版图后仿与传统验证流程相融合，用于成品率分析芯片的设计和验证。实验结果证明，成品率分析芯片验证流程具有正确性和稳定性。关键词：成品率分析芯片，形式验证，LVS技术，版图后仿浙江大学硕?上学位论文AbstractWiththedecreasingofcriticaldimension，theinfluenceofchipdefectsonyieldismoreandmoreserious．Yieldanalysischipisapropertooltoanalyzetheprocessofchipma

7、nufacturingandfindthecausesofdefects，whichCanhelpdesignengineersadjustcircuitsandlayouttoreducethechipmanufacturingsensibilitytodefects，aswellashelpprocessengineersadjustprocessparameterstoreducethequantityandseverityofdefects．Atthesametime，inordertogathermoreinformationaboutthechipm

8、anufacturing