平面线圈式石英挠性加速度计前期的研究论文

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1、独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得浙江大学或其他教荷‘机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签名霖葫签字日期：勿方年『口月；／日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解浙江大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权浙江大学可以将学位论文的

2、全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。学位论文作者签名：霖诵签字日期：加7年坩月引F1学位论文作者毕业后去向：工作单位：杌卅f乐西禹窍锹爱葫联硐通讯地址：导师签名＼和匠签字日期：2司年阳月=；7日电话：ir77。妒3邮编：摘要加速度计是惯性导航系统的关键部件之一，石英挠性加速度计因体积小、响应快、灵敏度高等优点，在我国航空航天、交通运输等领域都得到了广泛应用。最近十多年来，我国在武器研究领域，特别是短程导弹、运载火箭以及新式拦截武器方面取得了非常大的进步，但是作为导航装置的核心部件，石英挠性加速度计

3、多数仍然是仿制西方发达国家的早期产品，且其中不少关键工艺都存在问题，产品性能距离世界先进水平还存在很大的差距。因此，深入研究石英挠性加速度计，对我国惯性导航技术的自主发展有着非常重要的意义。本课题的主要工作包括：通过分析原有石英挠性加速度计存在的稳定性问题，对平面线圈式石英挠性加速度计的整体结构、加工工艺进行设计，并完成最终制作；对加速度计的伺服电路进行设计；组装样机，对样机进行功能性测试。本文共分六章：第一章综述石英挠性加速度计的发展现状和存在的问题，并以此为背景，提出课题主要的研究目标和内容。第二章通过对课题研究目标和相关关键技术的具体分析，阐述平

4、面线圈式石英挠性加速度计的总体设计方案。第三章着重从挠性支承、平面线圈、磁极和磁芯等几个方面具体阐述加速度计的结构设计方案和加工工艺。第四章设计模拟伺服电路，并对最终电路的性能进行测试。第五章详细介绍加速度计样机的装配工艺，进行功能测试，并对测试结果进行分析。第六章对整个课题进行总结。本课题的创新点在于：制作粘结型超顺磁磁芯，用于新型通电线圈磁场支承装置，可以有效增强磁场强度，并且没有磁滞；利用光刻工艺在摆片上制作平面螺旋线圈作为力矩线圈，不仅解决了原来粘接工艺复杂，粘接后易老化失效的问题，也有效的减小了摆片的质量。关键词：平面线圈、石英挠性加速度计、

5、超顺磁材料、光刻AbstractThesiliconflexuralaccelerometer,whichiSt11emostimportantcomponentoftlleinertialnavigationsystem，isusedabroadonnavigationandspaceflightfield,trafficandtransportationfieldforitslittlecubage，fastresponse，highsensitivityIntherecentseveralyears，ourcountryacquiredrapid

6、progressintheweaponresearchfieldespeciallyintheshortrangeguidedmissile，carrierrocket，newcelerityinterceptweaponandSOon．Asthekernelcomponentsoftheinertialnavigationsystem，onrcountry’SsiliconflexuralaccelerometerstilldependonthecopytheWest’Sadvancedproducts，atthesametime，therearem

7、anypivotaltechnicsthatwecaIlnotdowell．theperformanceofourownproductsisdroppedbehindthereplicatedproductsverymuch．It’Sveryvaluabletolucubratethesiliconflexuralaccelerometer,fortheindependentdevelopmentofourinertialnavigationtechnology．田地mostlyworkofthistaskisinvestigatingtheprobl

8、emoflong-termstabilityinthepresentlyconventiona