cmr薄膜的制备和litv器件设计

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1、硕士论文CMR薄膜的制各和LITV器件设计昆明理工大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下(或我个人⋯⋯)进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：4-装j日期：D2口哆年／2月汐日关于论文使用授权的说明本人完全了解昆明理工大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留、送交论文的复印件，允许论文被套阅，学校可以公布

2、论文的全部或部分内容，可以采用影印或其他复制手段保存论文。(保密论文在解密后应遵守)导师签名：磊垂锵脚论文作者签名：j蔓荔L日期：边缦生丝目重旦注：此页放在封面后，目录前。硕士论文CMR薄膜的制备和LITV器件设计摘要在倾斜单晶衬底上生长的LaCaMn03和YBa2Cu307．。薄膜的激光感生电压热电效应是国际上超巨磁电阻(cMR)材料和高温超导(HTSC)材料应用研究的一个新课题。本文的任务就是利用脉冲激光沉积法(PLD法)制备LaCaMn03薄膜，通过光刻和镀电极等一系列工艺，最终制成薄膜器件。利用晶体中各向异性的Seebcck效应产生激

3、光感生热电电压(LaserInducedThermoelectricVoltage,简记为L11-v)，以及感生电压峰值与激光输出功率，能量的线性关系，可以将薄膜器件制作成激光功率，官E量计。实验表明：此器件具有灵敏度高、响应范围宽、和响应时间快的优点。利用不同LaCaMnOa薄膜阵列元上接收激光功率的不同，还可以研制CMR薄膜激光光束光斑诊断仪。我们用优质的Lal。CaxMn03多晶为靶材，利用PLD法分别在倾斜SrTi03和LaAJ03衬底上，制备了四种不同ca2+掺杂量(X=O。33，O。15，O．1，0．05)的一系列的薄膜。经过摸索

4、，获得了较为成熟的制膜工艺，所得薄膜表明平整，光滑且厚度均匀。经测量发现：Ca2+掺杂量为O．1时，且生长在倾斜200的Lam03衬底上薄膜的UTV信号峰值最大。在H．Lengfellner教授推导出的激光感生热电电压公式以及张鹏翔等人通过建立微电源网络模型和瞬时平面热源模型推导出的LrrV信号随时间变化公式的基础上，我们成功推导出了产生最大LrrV信号峰值所对应的最佳薄膜厚度方程式，此方程为一超越方程。利用此方程并通过拟合计算，得到生长在倾斜100的LaAl03衬底上的Lao．9Ca0．1Mn03薄膜的最佳膜厚为190nto，得到生长在倾斜

5、10。的SrTi03衬底上的YBa2Cu307。t薄膜的最佳膜厚为243nm，利用Ms一_5l系列单片机，制作了激光功率／能量计的外围线路雏形，用三位LED数码显示嚣记录激光鸵盘和功率，经248nm准分子激光测试表明：输出能量和LED记录结果有一定线性关系，这为制作性能更加完善的激光功率／能量计打下了坚实的基础。同时我们也为这个器件进一步完善提出了修改设想与方案。关键词：CMR材料激光感生热电电压最佳膜厚方程激光功率／能量计2堡主堕兰曼坠翌堕塑塑墨塑!!坚墨壁堡盐一——一一AbstractTheLaserInducedThermoelectr

6、icVoYage皿try3ofLaCaMn03thinmmswhichisatypicalCMRmaterialsandYBa2Cu307．sthin矗l[mswhichisatypicalHighTemperatareSuperconductordepositedonvieinalcutsubstratehasbecomeanewdirectionforstudyinternationally．ThemaintopicofthisthesisistodepositLaCaMn03thin蜘msbypulsedlaserdeposition伊

7、LD)technology,andtomakethinfilmdevicebyusingoptic-erosiontechnology．Wecanfabricatealaserenergy／powermeterofLaCaMn03thinf'flmsbasedonanisotropicSeebecke矗奄ctincrystalandOnthelinearrelationshipbetweenpeckofUTyandlaserenergy／power．WtalsOcainhbrieateanew"model-detectorofIaserbas

8、edonarrayofthinfilmreceivingdi自krentenergy／power．Lal，xCaxMnOsthinfilmsinwhichthedo