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时间:2019-02-06
《si基及zno纳米发光材料的若干探索》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、摘要Si基发光材料与Zn0基发光材料近几年来一直是国际研究的热点。它们在全色现实与光通讯方面具有重要的应用前景。在本论文的研究中对硅基发光材料及ZnO基发光材料进行了一些探索。对Si基发光材料的探索具体包括:Ti钝化多孔硅与非晶SiAl合金薄膜的制备;对Zn0基发光材料的探索中,分别利用热处理ZnAl0薄膜与ZnAl薄膜制备出Zn0纳米颗粒。采用磁控溅射的方法成功钝化了多孔硅。利用磁控溅射向多孔硅表面沉积Ti金属,在溅射的过程中通过小功率溅射、增大工作气压、缩短溅射时问等方法避免Ti在多孔硅表面形成团簇。溅射出的Ti可以在多孔硅表面形成Si-Ti键。通过紫外光的辐
2、照又进一步促进了多孔硅表面Si-Ti键的形成。由于Si-Ti的存在使得多孔硅发光稳定性显著提高,发光峰位较未钝化的多孔硅发生蓝移。经过一系列的探索制备出非晶SiAl合金薄膜,为合金氧化制备si量子点材料奠定了工作基础。溅射时,作为阳极的衬底会受到电子的轰击,导致衬底温度升高;同时,溅射出的原子有一定的动能,这就使镊结晶温度较低的SiAl合金薄膜在溅射出来以后以晶体的形式出现。本实验中通过降低溅射功率、增大工作气压、提高靶距、加反向电压等方法成功地降低了衬底温度;通过提高样品中的Si含量提高了样品的结晶温度,最终制各出非晶SiAl合金薄膜。在本论文的实验工作中通过合
3、金氧化这一新方法获得了A1203基体中的Zn0纳米颗粒。先通过磁控溅射的方法制备出ZnAtO与ZnAl薄膜,经过对ZnAIO薄膜-与ZnAl薄膜的进~步热氧化和热退火,即可得到镶嵌于非晶A1203基体中的ZnO纳米颗粒。本系统中的ZnO纳米颗粒成功地张1203基体钝化,显示出强的紫外光发射,而常见于ZnO纳米结构中的与O有关的绿光发射被猝熄。关键词:多孔硅Si量子点ZnO纳米颗粒磁控溅射光致发光IIABSTRACTSi·basedandZnO-hasedluminescencematerialattractedmanyresearchcrs’attention.T
4、heyhavehighpotentialonthelight.emissiondevices.ThispaperpresentsseveralattemptsonSi-basedandZnO.basedluminescencematerials:Si-Tipassivatedporoussilicon,preparationofamorphousSiAlalloybymagnetronsputtering,andpreparationofZnOnanoparticlesbyoxidizingZnAIandZnAIOfilms.PSwaspassivatedbysp
5、utteringtitaniumfilm.InordertOavoidformationofTiclusters,reducingsputteringpower,increasinspressureandreducingsputteringtime,suchattemptswereadoptedduringsputtering.TiatomsbondedwithSidanglingbondsandformedSi一啊"bonds.AndUVphotoninducedSi.TiformtionduringUVirradiating.Afterirradiatedby
6、ultravioletlight,thefinalPLintensityofpassivatedsampleWastwotimeshigherthanthatofnon—passivatedone.TheformationofSi-TibondWasdemonstratedtoberesponsiblefurtheimprovementofPLproperties.AmorphousSiAlalloysfi.1mWaspreparedbyaseriesofattempts.ItprovidedthenecessaryconditionfurpreparationS
7、iquantumdotsbyoxidizingalloyfilms.Reducingsputteringpower,increasingpressure,increasingthedistancebetweentargetandsubstrate,usingreversebiasvoltageandincreasingSicontent,aboveattemptsbreakS-Kgrowthmechanismofnano-filmsduringspuRering,andthenamorphousSiAlalloysfilmWassuccessfullyprepar
8、ed.Zn
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