氮化钛薄膜的磁控溅射研究

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1、南京理工大学硕士学位论文氮化钦薄膜的磁控溉射研究AbstraCtTheTIN6】1招havehighh田月nesandg以月w‘汀‘reslstingPro拼叭les.肠Nfiln妈areveryfitforcuderyand】ayerofb‘的ngs.kcan面seto01togcxxlw已双.找活lstingP印pe币es，助dP功longthe往旧1五fesPan3一50%J七eTINfiln‘areumquegoldenyeltow，whlchisu“月fordeColationIT口teriai.htheProcessofga涨幻usphasede侧招ltion，the】owt

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5、referedorientationisex户戈ted;atlargefilmthicknessethe5仇曲印e雌汀少司。而natesanda{1川orientaionisex，戈ted.Key贾ords:肠N五in妞众汾cdve叮Iagnetl勺nsput颐ng声明本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果，尽我所知，在本学位论文中，除了加以标注和致谢的部分外，不包含其他人己经发表或公布过的研究成果，也不包含我为获得任何教育机构的学位或学历而使用过的材料。与我一同工作的同事对本学位论文做出的贡献均已在论文中作了明确的说明。研究生签名:王寿杰7刁年7月，日学位论文使用授权声明南京理工大

6、学有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可以借阅或上网公布本学位论文的全部或部分内容，可以向有关部门或机构送交并授权其保存、借阅或上网公布本学位论文的全部或部分内容。对于保密论文，按保密的有关规定和程序处理。研究生签名:二浩杰“7年声刀日南京理工大学硕士学位论文氮化钦薄膜的磁控溅射研究第一章绪论Ll引言刀刃具的加工处理技术对各行各业的发展起着至关重要的作用，无论是工业、农业、机械制造，还是航空航天、通讯、建筑、医药业，只要有加工工艺过程，就有刀刃具的足迹。刀刃具市场己成为基础工业中最大的市场。然而月前所使用的各类刀刃具普遍存在着使用寿命短而影响生产效率的问题。其中的原因大多因为表面硬度和耐

7、磨性不够高所致1闭。因此，为了延长刀刃具使用寿命，提高生产效率，人们对其进行了表面改性及其摩擦学的研究。在已有的表面改性技术中，气相沉积技术的研究是一个十分活跃的领域13.4]。在薄膜的气相沉积过程中，低温沉积是薄膜技术的前沿问题，长期以来，低温沉积一直是真空镀膜工艺方案设计的目标之一阎。而本论文重点分析了反应磁控溅射法制备的氮化钦薄膜溅射沉积的微观过程、探索薄膜生长过程及理论、把薄膜微观结构与性能之间进行了联系，目的是为制备高性脚