磁控溅射法制备铁磁形状记忆合金nimnga薄膜的性能研究

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1、江苏大学硕士学位论文摘要铁磁形状记忆合金Ni一]VLn．Ga是一种新型的智能材料，最突出的应用功能在于它的马氏体变体可以由外加磁场驱动重新排列而显示出类似于磁致伸缩效应的宏观应变。但是由于块体材料的响应速率较慢且脆性高，很难切割成较小的块，在一定程度上限制了它的应用，最近，有人研制了做为驱动材料的形状记忆合金薄膜，很好的解决了这个问题。本文采用微波ECR射频磁控溅射技术在Si。(100)基片、Ni．．Mn．Ga基片和PZT压电陶瓷片上分别制各Ni—h恤一Gh薄膜，研究了各种制备参数对薄膜成分和性能的影响，以期对这种新型的薄膜材料的制备及特性进行初步探索。

2、结果如下：使用EDS能谱仪分析薄膜的成分发现，射频功率对薄膜的成分有较大影响。当溅射功率处于175W与250W之间时，所沉积的薄膜的成分与靶的成分较为接近。随着溅射功率的增加，Mn和Ni的原子百分比稍微增加，Ga的含量减小。但是沉积在Ni-Mn．Ga块体和PzT上的薄膜中Ga含量的下降幅度较大，这说明不同的基体材料对于薄膜的成分有一定的影响。随后，对薄膜进行了真空热处理，热处理温度500。C一900"C范围内，对薄膜的XRD分析表明，沉积态薄膜为非晶态，热处理后的薄膜呈多晶态，晶粒呈多种取向，分别为(022)(004)。晶粒尺寸随着热处理温度的增加呈线性

3、增长的趋势。使用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面观察表明，薄膜的生长和基体有关，硅片上的薄膜的表面比较光滑，同时膜上存在颗粒状物质，最大颗粒直径约为2pra。PZT上的薄膜断面图片显示，薄膜为柱状生长结构，且厚度约为51un。采用wYKO形貌仪检测薄膜的表面粗糙度，薄膜表面的粗糙度随着溅射功率的增大呈线性增大趋势。采用纳米硬度计(TriboIndenter)系统及其摩擦力显微镜(ⅡM)组件进行了纳米压痕实验，来表征薄膜的硬度和弹性模量值，知在所定温度范围内Ni．Mn．Ga薄膜的硬度和弹性模量随退火温度的升高而增大。使用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表

4、面形貌进行了分析，知其为典型的核生长型，并对江苏大学硕士学位论文其生长过程进行了描述。对薄膜应变进行测试结果表明，随着磁场强度的增加，各个样品的应变值都增大，但都和靶材一样为负值。在磁场强度为4．0KOe时，热处理后的硅片上薄膜的应变值一85ppm，未热处理的硅片上的薄膜的应变值为一80ppm，Ni—Mn．Ga块体上的薄膜的应变值为--142ppm。关键词：形状记忆合金；Ni．Mn．Ga；微波ECR；薄膜Ⅱ。江苏大学硕士学位论文ABSTRACTFerromagneticShapeMemoryAlloysq7sMas)isanewtypeofintelli

5、gentmaterial．Theirnotablecharacterisshapememoryeffectwhichcallbeinducedbymagneticfield，andtheirmartensitehaslargereversiblemagnetic—field—inducedstrain．However，thebulkhasveryhighbrittlenessandlowresponsespeed，itisdifficulttObemachinedtosmallparts，whichrestrainitsapplicationincert

6、ainextent．Recently，peopledevelopedthefilmsofferromagneticshapememoryalloys，whichisagpodsolutiontodealwiththisproblem．Inthistext,Ni-Mn-GathinfilmswerepreparedbyMW-ECRRFmagnetronsputteringonSisubstrate，Ni—Mn—GasubstrateandPbZrTi03(PZT)piezoelectricceramicssubstrate．Andthen，theeffec

7、tofpreparationparametersonthecompositionoffdmsandpropertywerediscussed．Theresultsaregivenasbelow：Thefdmswerecharacterizedwithenergydispersivespectroscopy(EDs)，theresultsshowthatsputteringpowercanaffectthecompositionofthefdms．Whenthesputteringpowerisbetween175Wand200W,thecompositi

8、onofthefilmsissimilartothecompositionoft