硬脆光学晶体材料的生长及加工机理研究

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1、摘要硬脆光学晶体材料在红外光学、反射光学、电子工业、宇航工业、军事工业等诸多领域有着极其广泛而特殊的用途，科学技术的飞速发展对硬脆光学晶体材料的加工提出了越来越高的要求。硬脆光学晶体材料具有高强度、高硬脆等特点，在机械加工过程中易产生硬脆破坏和微裂纹，其加工工艺性差、加工成本较高。目前，随着现代高技术的发展，具有优良性能的硬脆材料的超精密加工作为新课题己被普遍关注。本文在分析研究了国内外脆性材料超精密加工技术的基础上，较为深入地研究了硬脆光学晶体材料超精密切削理论。优化了抛光加工中各项工艺参数，改善了超精密加工表面质量。实验中对Nd：YAG晶体材料的抛光面型可达到PV值为O．08酞，R

2、a为0．38rim．达到预期目标。本文研究的成果将对硬脆性材料的超精密抛光也具有重要的指导意义。关键词：硬脆光学晶体材料，超精密加工，Nd：YAG晶体Rigid-hmdingcrystalmaterialshaveveryextensiveandspecialUSeinmanyfield，suchasinfraredoptics，reflectedoptics，electronicsindustry，astronauticsindus仃ics，militaryindustry．Fastdevelopmentofscienceandtechnologyputsforwardstricte

3、rrequesttoririd—hardingczystalmaterials．Ithashighstrength，highrigid—brittlecharacteristicsetc，andeasilycausesbreakageandmicro-cracksduringtheperiodofmcchanicalprocess．Thecraftofprocessjsbadandneedshighercost．Alongwithmodemadvancedtechnicaldevelopment，theultra-precisionprocessoftherigid—hardingma

4、terialwitheminentperformanceispaidmoreattentiontocurrently．11lcpaper，basedonanalyzingandstudyingdomesticandinternationalrigid—hardingcrystalmaterialscuttingtechniques，studiedthoroughlyultra-precisionprecisecuttingtheoriesofrigid-hardingcrystalmaterials．VariouscraftparametcISWasoptimizedjntheproc

5、ess，andthesuperpreciseprocesssurfacequalityisimproved．PV，svalueofNd：YAGcrystalmatcrial’Spolishingsurfacecanattaill0．08飘andRais0．38rim．Thatistosaythatweattaintheexpectedgoals．Theresearchresultofthispaperwillalsohaveimportantinstructionmeaningfortherigid-hardingcrystalmaterials’ultra-precisionpoli

6、shing．Keyword：RMd-brittleopticalcrystalmaterials，Ultra·precisionprocess，Nd：YAGcrystal．2长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《硬脆光学晶体材料的生长及加工机理研究》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名!茅!里凳一生11年土月丝日长春理工大学学位论文版权

7、使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名指导导师第一章绪论§1．1超精密／jn-r技术的现状目前，先进制造技术已成为一个国家经济发展的重要手段之一。美国、日本、德国等