澳洋试车方案

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1、试车方案淮安澳洋顺昌光电技术有限公司，“LED外延片及芯片产业化”项目，在建设过程中，得到了淮安市清河区安全生产监督管理局、及其它各单位的大力支持，谨在此表示衷心感谢。下面主要介绍我公司的试车方案：一、试车前准备试车前准备主要有以下几点：公用工程主要包括氢气、氮气、蒸汽、电、水准备等；安全防护工程、通信、试车前培训、工艺操作规程培训；成立试车小组。1、公用工程序号燃料动力单位年耗用量备注1电力kW•h29686280市政供应2自来水t324000市政供应3氢气Nm防护器具准备：洗眼器5台，防腐手套20个、面罩20个、防毒面具5个、空气呼吸器2个。消防器具的准备：消防的恒压

2、泵放在自动档上，准备两个消防带放于现场，以备急用。3、通信通信主要包括紧急事故的通告，和当天的气象通告以便在发生紧急情况下有一个正确的撤离路线，通告方式主要有两种：厂区的消防1080000当地市场4氮气Nm36800000当地市场5蒸汽t8640集中供应2、安全防护工程广播，成立专门的通信小组（见附件试车小组名单）由咨询组负责。4、培训试车前安全培训主要针对试车中的危险、有害因素进行分析和控制。内容主要包括：物质危险性分析、工艺危险因素分析、设备危险因素分析、储存危险性分析、装置设施的腐蚀危险性分析、粉尘危害分析、电气系统危险性分析、空压机危险性分析、其它危险有害因素分析

3、、试车应急预案培训。5、成立试车小组小组人员名单见下表：序号姓名单位职务备注1崔恒平LED外延片、芯片Coo专家组2孙中磊LED外延片、芯片安全员安全组3王俊敏LED外延片、芯片厂务部长动力组4芦岭LED外延片、芯片外延部长操作组5张向飞LED外延片、芯片芯片经理操作组6孙领军LED外延片、芯片IT经理通信组试生产小组组织图AAAA现场操作组公用组二.生产工艺流程及储存的危化品品种与设计能力说明:1・外延片①、蓝绿光外延片工艺流程依据产业界普遍作法，MOCVD制程使用蓝宝石衬底，其工序可分解为下列步骤：a、检测：利用显微镜对衬底进行检测，检验有无杂质，检测合格的衬底进入下

4、一工序。b、输入混合气体：首先将蓝宝石衬底放入由石英管和石墨基座组成的反应器中，再按照NH3和H2比(5:95)通入NH3和H2混合气体。c、输入有机金属：将载气H2(或N2)通入三甲基镣、三甲基锢、三甲基铝液体罐中，以三种有机金属蒸汽夹带进反应器中，在密闭条件下进行金属有机物化学沉积反应。主要沉积反应有：Ga(CH3)3+NH39GaN+3CH4,如果欲生长三元固溶体晶体，如Gal-xAlxN时，可在反应系统中再通入三甲基铝，反应式为：xA1(CH3)3+(1-x)Ga(CH3)3+NH3=Gal-xAlxN+3CH4od、MOCVD进料方式如下图，有机金属与气体借着滤

5、网而进入MOCVD反应体，下方的圆盘以预定速度旋转，在高温环境下，进行热分解反应，实现沉积过程。MOCVD进料方式示意图e、反应废气处理：MOCVD之热分解反应是不可逆，但还有部分尚未完全分解，因此气体不能直接排放到大气中，必须先进行处理,例如外延生长过程中过量的NH3,处理方法主要为把尾气通入装有水+H2SO4溶液的水洗式洗涤塔（Scrubber）中处理中，去除大部氨气。f、快速检测：用以在进入芯片制程之前的检测手段，检测方式如下图3・5,作法为定电流20mA下，以电压3〜5V范围，以电激发光的方式，测试LED外延片，主要测试在定电流的条件下，发光层所产生的光波长频谱范

6、围，及光波长频谱的半高宽，来判断发光层的井磊比是否合适，结的位置是否正确。外延片检验操作方式②、红黄光外延片工艺流程工艺流程说明外延片生产工艺核心是采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺，将三甲基钢、三甲基镣、三甲基铝、磷烷、碎烷等原材料，在专用设备反应室中分解为锢、镣、铝、磷、础等单质，并沉积在掺硅(采用n型硅烷作为掺杂源)的碑化镣单晶片上而牛长的。A、以不申化镣单晶片作为衬底，检验确化镣单晶片是否合格。合格的碑化镣衬底才可以装片进入外延炉生长。B、在进行生长之前，外延炉要进行抽真空，然后向外延炉反应室通入氮气和氢气，然后开始加热升温。当炉温升至750°C左右（外

7、延炉的工作程序由计算机程序系统控制），开始向外延炉反应室同时通入一定量的碑烷和磷烷混合气（置于气柜中的气瓶通过减压控制等，以3-5kg的压力经管道传输到阀门分布箱中，然后再输入到外延炉中），于是碑化镣缓冲层便在外延炉里生长。在碑化稼衬底生长的同时，沿着与衬底平行方向通入高流速的氢气和氮气的混合气体，控制确化镣生长时热对流，从而获得高迁移率的碑化稼单晶层。C、神化镌缓冲层形成之后，同时通入氮气和氢气降低炉温，用以生长量子阱层，然后将炉温再次升至750°C左右，生长双异质结构外延层，最后再生长一层磷化稼层，用于保护表面。D、取出外