垂直靶向脉冲激光沉积纳米薄膜

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1、中文摘要本文采用垂直靶向脉冲激光沉积(vTPLD)方法制备纳米粒子与薄膜。该方法利用激光穿透一层透明、平整而且对激光没有吸收的基底(本文使用的是玻璃片，它对YAG激光器产生的1064啪激光不吸收)作用在靶材上，使靶材表面熔蚀产生等离子体而沉积在基底上。我们用此方法在室温及空气气氛下于玻璃基底上成功地制备出znO纳米薄膜，用扫描电子显微镜(SEM)和X．射线衍射(XRD)仪对zn0纳米薄膜的表面形貌和结构进行了表征，用荧光光谱仪对薄膜的光致发光性能进行了测量。结果表明，当激光功率为13W时，沉积出的粒子大小比较均匀，尺寸

2、在40咖左右，并且这些粒子的排列呈现出一定方向性；当激光功率为21w时，沉积的zno纳米薄膜图呈现出微纳米孔的连续薄膜。在玻璃基底上沉积的zn0纳米薄膜有一个主峰对应的(002)衍射晶面，表明动O纳米薄膜具有良好的c轴取向性。不同激光功率下沉积ZIlO纳米薄膜经500℃热处理后的光致发光谱峰(PL)强度随激光能量的增强而减弱，最大发光波长位于412砌。脉冲激光沉积技术制备金属纳米薄膜是一种新兴的表面增强拉曼散射(SERS)活性衬底制各方法，本文进而推广使用V11PLD法通过控制不同的激光电流密度制备了不同形态的纳米银薄

3、膜，对该薄膜进行了扫描电镜(SEM)的测量和XRD的表征，银粒子分布比较均匀，多数为球形颗粒，颗粒大小随电流密度的增加而减小且均为纳米级。测定了纳米银薄膜的表面增强拉曼散射(SERS)，SERS谱分析显示此银纳米膜具有很好的增强效果。关键词：垂直靶向脉冲激光沉积；zllO纳米薄膜；光致发光；银纳米薄膜；表面增强拉曼散射黑龙江大学硕士学位论文Abstract11lisa币ckd“el叩saVenicaltarget叫sed·laserd印osition(vTPLD)metllodtopIq豫re碰ul删iclesandn

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