湿度仪种类和校准方法的研究

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1、湿度仪种类和校准方法的研究于洋宋庆明王雅婷中昊光明化工研究设计院有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司摘要：湿度是气体纯度的一项重要指标，其数值直接关系到企业产品质量和生产安全。由湿度衍生出的齐种原理的湿度仪种类繁多，优缺点齐异。本文主要介绍若干常见湿度仪的种类和原理，常用新型传感器的种类和原理，当前湿度仪校准的常规方法，同时介绍一种操作简单、经济适用、在线免拆、现场校准的新型化学转化湿度校准仪的相关原理，给出相关的校准流程，该方法可以解决目前湿度计校准的送检模式，并有望替代现有校准模式的趋势。关键词：湿度;湿度校准化学转化;湿度校准法;作者简介：于洋

2、仃986),男，工学硕士，工程师，化学工业气体质量监测中心从事分析工作收稿日期：2017-06-29ResearchtheTapesofHygrometerandCalibrationMethodYUYangSONGQingmingWANGYatingDalianGuangmingGasQualitySupervisionandInspectionCenterofChemicalIndustryCo.、Ltd.,ZhonghaoGuangmingResearch&DesignInstituteofChemicalIndustryCo.,Ltd・；Abstract

3、：Thehumidityisoneoftheimportantofthegaspurity,thatisdirectlyrelatedtotheproductqualityandproductionsafety.Manykindsofhygrometersarebasedonvariousprinciplesderivedfromthehumidity,andtheyhavetheirownprosandcons.Thepaperdescribesanumberofcommontypesandprinciplesofthehygrometers,commonly

4、usednewtypcsofsensorsandprinciples,andthetraditionalmodelofdew-pointmetercalibration.Thepaperalsointroducesanewkindofprincipleofchemicalconversionhumiditycalibrator,whichissimple,affordable,onlinewithoutdismantling,andcalibratedinthefieldandgivesthereleveintcalibrationprocess.Themeth

5、odofcalibrationmaychangethecurrentsubmissionmodeofhygrometercalibration,andisexpectedtoreplacetheexistingcalibrationmode.Keyword：humidity;humiditycalibrationchemicalconversion;dew-pointmethod;Received：2017-06-290引言气体已渗透工业、农业、航天、微电子行业等各个领域中，每个行业对气体纯度都有不同程度的需求。湿度是气体各项指标屮一个重要参数，直接关系到生产安

6、全和产品质量£11。虽然湿度的测定方法相对于其它杂质含量的测量起步较晚，且容易受压强、温度等多种因素影响，是最难准确定量的技术参数，但气体中水分含量确是各个行业要求特别苛刻和关键的指标参数，因此湿度测量是有必要的⑵。随着时代的发展，科技的进步，各个领域对湿度测量精度、响应速度、准确度、使用环境、使用寿命等要求也越发严格，尤其准确度是每个用户最为关心的焦点,因此湿度计量和校准就是不得不面对的现实问题。本文主要介绍常见水分仪的种类及相应原理，同时简单描述一种新型的、便携式、可实现在线校准的化学转化湿度校准方法，并提岀方法的可行性。1常见湿度仪的分类及原理湿度测量仪从

7、原理上可分为干湿球式、电解式、冷镜式、电阻式、电容式、机械式等宜。电阻式、干湿球、机械式湿度计仅用于相对湿度的测量;完全吸收电解式微水仪及Abo,电容式湿度计常用于低湿范围的测量，但低湿漂移、波动较人;冷镜式露点仪、薄膜电容式湿度仪测量范围几乎可涵盖屮高低湿度，其屮冷镜式露点仪是最基本的、最可靠、最准确，是各大计量部门湿度量值传递的主要工具之一。湿度测量仪按测量方式又可分为直接湿度测量法和间接湿度测量法如，直接湿度测量法包含基准的重量法，经典镜面露点法绝对量值的电解法，世界公认最准确的卡尔费休库仑法，测量高灵敏度、宽范围的压电石英振荡法国_,不破坏基体的光学吸收

8、法，快速响应的电容法和中