扬州某半导体企业生产废水处理工程设计方案

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1、旃2佞血7i滨江学院毕业论文（设计）题目扬州某半导体企业生产废水处理工程设计方案学生姓名学号院系专业指导教师张慧二00九年五月二十九日1.企业概况12.生产废水概况及处理要求12.1废水量22.2废水污染物浓度22.3处理要求33.废水处理工艺的选择33.1除氟工艺设计43.1.1石灰一铝盐沉淀法43.1.2除氟工艺流程43.2除磷工艺设计53.2.1石灰一铝盐沉淀法53.2.2除磷工艺流程63.3除COD和氨氮的工艺设计63.3.1曝气生物滤池工艺63.3.2曝气生物滤池工艺流程73.4废水处理工艺流程设计73.4.1废水处理工艺流程83.4

2、.2混凝的注意事项84.构筑物的设计计算与设备选用94.1调节池94.2混合一絮凝（混凝）反应池A104.3-沉池（斜管沉淀池）134.4厌氧池144.5曝气生物滤池154.6混凝反应池B194.7-沉池（斜管沉淀池）204.8清水池214.9污泥浓缩池221.10主要构筑物和设备一览表222.废水处理站平面与高程布置235.1废水处理站平面布置235.1.1平面布直原则235.1.2平面布置233.2废水处理站高程布置245.2.1高程布置原则245.2.2高程布置244.工程投资概算245.工程运行成本核算257.1药剂成本257.2电耗成

3、本257.3人力资源成本257.4运行总成本257.5废水处理成本263.设计方案效益评估268.1环境效益268.2社会效应268.3经济效益264.设计依据2610•结论27参考文献27致谢29扬州某半导体企业生产废水处理工程设计方案王磊南京信息工程大学滨江学院，南京210044摘要：半导体生产过程中使用了大量繁多的酸碱、各种有机和无机物，并有许多有毒有害物，对环境危害较为严重。扬州某半导体制造企业将重建废水处理系统，改善出水水质。该工程针对废水中高浓度的氟、磷、氨氮而设计：采用化学混凝沉淀除氟、磷；曝气生物滤池除C0D和氨氮的工艺组合，有

4、效地降低了废水中氟、磷、氨氮的浓度，预计处理后的出水达到国家和地方相关排放标准。关键词：除氟；除磷；脱氮；化学混凝沉淀；曝气生物滤池从国家经济发展、工业布局和产业导向來看，信息产业将是未来重点发展的行业之一。其中，半导体行业作为信息产业的基础，将会有迅猛的发展。半导体行业作为高新产业往往被人误解是“清洁”产业；但事实上，半导体生产过程中使用了大量繁多的酸碱、各种有机和无机物，并有许多有毒有害物，对坏境危害较为严重。而随着该行业的快速发展，其对环境的影响及压力势必有所增加，如不加以控制，将会产牛较大的环境污染。1.企业概况扬州某半导体制造企业，是

5、一家专业研制、开发、销售半导体器件的企业。公司占地面积6.5万平方米，固定资产1.9亿元，职工千余人。主要产品：各种系列的芯片、晶体管、YCR/YTR系列单/双向可控硅等。作为产量最大的制品，芯片的生产过程具有半导体器件典型的代表性，生产程序比较复杂，且污染严重，如英屮的硅片打磨清洗，不仅耗能耗水，而且有大量的悬浮颗粒排出，带来环境压力同时造成物料的损失。其他生产工艺也会带来巨大的环境危害。例如：由于大量使用蛍氟酸、氟化钱、磷酸和其他各种有机溶剂，废液屮含有大量的氟离子、磷、COD和氨氮。含氟、磷氨氮的废水。目前该企业尚无完善的处理设施，所排放

6、的废水中氟、磷、氨氮含量指标未达到国家排放标准。该企业年代久远，生产工艺设备和废水处理工艺设备比较落后，已经严重阻碍了公司的发展。在政府有关工业发展的统一规划下，企业已搬入工业园区，工艺设备和电气设备实现更新换代。半导体生产过程耗能耗水，且污染严重，该企业已经被江苏省列为强制性实施清洁生产的企业，清洁生产工作已经于2008年末全面开展。作为清洁生产的高费方案Z—，同时又是新厂区基础建设的重要组成部分，新扩建的废水处理系统筹划工作已经开展。2.生产废水概况及处理要求2.1废水量目前企业内有打磨清洗车间和生产车间各一个排口，经过管道汇总到污水处理站

7、，经过简单处理,排放到自然纳体河中。公司每天废水排放20小时。三个排口的废水流量见下表。表1各生产工艺废水产生量监测点打磨清洗车间生产车间总排口3m3/h55m3/h约58m3/h/丿化里60m3/d1100m3/d约1160m3/d2.2废水污染物浓度由于要进行污水处理系统的新扩建，企业对全厂的主要污染物进行重新系统的监测，鉴于生产的连续性，水质监测持续了七天，两个小时取样一次，24小时连续监测。监测数据汇总如下。表2各监测点污染物监测数据（最大值、最小值）污染物最大值mg/L污染物最小值mg/LpHSSCOD氨氮TPFpHSSCOD氨氮TP

8、F打磨清洗车间—550——————233———生产车间3.812554883301452.111.6742.716.7110.2现处理后总排口8.55