电子显微镜习题三答案

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1、习题三1."SEM”的中英文全称扌门描式电子显微镜scanningelectronmicroscopy2.扫描电子显微镜的主要构造有哪些？电子光学系统扫描系统信号探测放大系统图彖显示和记录系统真空系统电源系统3.扫描电子显微镜的主要工作原理是什么？扫描电镜的工作原理可以简单地归纳为“光栅扫描，逐点成像“。用一•束极细的电子束扌「I描样品，在样品衣面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表而结构形貌有关，次级电子山探测器收集，并被闪烁辭转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电

2、子束同步的扫描图像。图像为立休形象，反映了样品的表面结构形貌4.“SEM”中的扫描系统由哪些主要部件构成打描系统主要由扌「I描偏转线圈、打描信号发住器；打描放人控制器等部件组成5.“SEM”中，扫描系统的主要作用是什么？电子光学系统和扫描系统的作用是用来获得扫描电子束，作为信号的激发源6.扫描电子显微镜的放大倍数是如何定义的？1.在“SEM”中，扫描电子束激发样品产生的物理信号主要有哪些?3•扫描电镜样品的主要物理信号（1）二次电子（SecondaryelectronfSE；是被入射电子（又称为一次电子）轰击岀来的离开样品表面的样品的核外电子，在

3、扫描电子显微术中反映样品上表面的形貌特征特点：①能号比较低，一般小于50eV；②来自表层5・10nfn深度;③它对样品的表面形貌+分敏感，因此能非常有效地显示样品的表面形貌€INTERACTIONWITHMATTERSecondaryelectrons-topographyBackscatterelectrons-compositionalXfays-chemistryBoel>«eGft

4、CTIONWITHMATTER①诂召较大，与入射电子能审接近；^②来自样品表面几十-几百纳米的深度范围；③产额伴随着原子序数增大而增多，可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成份分析Secondaryelectrons让畑观沁-compositional・chemistryBackscattyelectrons（3）特征x射线特征x射线：是原子的内层电子受到激发之后，在能级跃迁过程中育接释放的具有特征能串和波长的一种电碣波辐射。是入射电子在激发样品中原子的内层电子后，外层电子跃迁至内层时发出的光子牛寺:特征X射线来自样品几百口皿〜几pm的深度范通过

5、检测样品发出的特征X射线的能垠或波长即可测定样品中的元素成分；测旱X射线的强度即可计算元素的含呈，从而进行样品表面元素定性、定量分析，该方法称为能谱法（EDS）和波谱法（WDS）4.SEM中的其他信号•俄歇电子：入射电子在样品原子激发内层电子后外层电子跃迁至内层时，多余能量转移给外层电子，使外层电子挣脱原子核的束缚，成为俄歇电子•透射电子：电子穿透样品的部分，这些电子携带着被样品吸收、衍射的信息，用于透射电镜的明场像和透射扫描电镜的扫描透射（STEM）图像.以揭示样品内部微观结构的形貌特征°1.“SEM”中二次电子像和背散射电子像的主要异同是什么

6、？用背反射信号进行形貌分析时，其分辨率比二次电子低。背散射电子来自样品表层儿百纳米的深度范围。不仅能用作形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。二次电了是在入射电了束的作用下被轰击出來并离开样品表面的样品原了的核外电了,来自表层5-10nm,能冇效显示样品表血形貌，二次电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系，不能用它來进行成分分析2.在“SEM”中，接收样品信息的探测器主要有哪些？3.在图4所示样品表面形貌示意图中，a、b、d、f处的二次电子产率由高到低的排序是什图-1样品表血形貌示意图么？二次电子产率：a

7、（边缘效应）,e与f难以a

8、种？通常采川二次电了发射系数较高的金银或碳膜做导电层，膜厚控制在20nm左右真空镀膜法离子溅射镀膜法