mems压阻式压力传感器批量测试研究

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1、东南大学硕士学位论文MEMS压阻式压力传感器批量测试研究姓名：王雷申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：黄庆安；张中平2012-05-25摘要随着科学技术的发展，传感器技术在国民经济各部门中的作用和地位日益突出。MEMS传感器中，压阻式压力传感器发展最为成熟、最早实现商业化，具有灵敏度高、动态响应好、准确度高、易于微型化和集成化、批量化制造的优势，是当前应用最为广泛的压力传感器之一。然而，当前国内对压力传感器的检测还以人工检测为主，测试效率低、误差大、自动化水平不高，这种落后、低效的测试方式已

2、经成为影响产品产量和质量的关键因素。因此有必要设计开发出一套实用高效的压力传感器批量化、自动化的测试系统。本文基于虚拟仪器技术，研究了一种由环境模拟设备、多路数据采集设备以及测试软件组成的压力传感器批量测试系统。可用来批量检测在1个或多个温度点下压力传感器的静态特性参数，每次最多可实现128路通道的批量测试。本文通过采用LabVIEW图形化编程环境，编写了一套集仪器自动／半自动控制、数据采集、数据自动保存、数据分析及测试报告生成等功能于一体的测试软件。用户通过一个高度交互性的虚拟软面板进行操作，就能轻松完成多

3、个温度点下传感器静态特性的批量测试，实现了测试仪器的虚拟化。在软件的设计中，将数据采集与数据分析功能分离开来，便于用户根据具体的应用和需要开发出合适的数据分析软件。本系统的研制，不仅可用于传感器的批量化静态测试与标定，提高企业传感器测试的效率和质量，同时，也可用于研究传感器的温度特性，为进行温度补偿和校正研究提供了有益的借鉴。关键词：压力传感器，批量测试，数据采集，虚拟仪器ABSTRACTWiththedevelopmentofscienceandtechnology,theroleandstatusofse

4、nsortechnologyinthevariousdepartmentsofthenationaleconomyiSbecomingincreasinglyprominent．BetweenalloftheMEMSsensors．thepiezoresistivepressuresensorwithhighsensitivity,gooddynamicresponse，highaccuracy，easyminiaturizationandintegration，andmasscharacteristicso

5、fmanufacturing。iSthemostmatureandtheearliestcommercializedsensoLIt’Scurrentlyoneofthemostwidelyusedpressuresensor．However，thecurrentdomeSticsituationofpressuresensordetectioniSmainlybasedonmanualdetection．thee筒ciencyiSlow,theerroriSeasy,thelevelofautomation

6、iSnothigh．thisbackwardandinefficienttesthasbecometobethekeyfactorsthathavinganimpactonproductyieldandquality．Therefore，it'snecessarytOdevelopapracticalandefficientautomatedbatch-testingsystemforpressuresensortoimprovethee衢ciencyofproducttesting．Basedonvirtu

7、alinstrumenttechnology,thepressuresensorbatch．testingsystemconsistingofanenvironmentaIsimulationequipment．multi．channeldataacquisitionequipment,andtestsoftwarewasdeveloped．Itcanbeusedtobatchtestingofthestaticparametersofthepressuresensorinoneormoretemperatu

8、repoints，andeachbatch—testingcanachieveupto128channels．BasedontheLabVIEWgraphicalprogrammingenvironment，atestsoftwarewithinstrumentsautomaticandsemi．automaticcontr01．dataacquisition．dataautomaticstorag