国家标准《太阳能级铸造多晶硅块》（送审稿） - 中国有色金属标准

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1、GB/T××××—××××发布中国国家标准化管理委员会中华人员共和国国家质量监督检验检疫总局XXXX-XX-XX实施XXXX-XX-XX发布太阳能级铸造多晶硅块Solar-gradecastingmulti-crystallinebrick（送审稿）GB/TXX—XXXX中华人民共和国国家标准ICSGB/TXX—XXXX前言本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）归口。本标准起草单位：江西赛维LDK太阳能高科技有限公司、宁波晶元太阳能有限公司、西安隆基硅材料股份有限公司本标准主要起草人：万跃鹏

2、唐骏张群社游达金虹段育红1GB/TXX—XXXX太阳能级铸造多晶硅块1　范围本标准规定了太阳能级铸造多晶硅块的产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于利用铸造技术制备多晶硅片的多晶硅块。2　规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注明年代的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注明日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1551硅单晶电阻率测定方法GB/T1553硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法G

3、B/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T4061硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法GB/T6616半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法非接触涡流法GB/T14264半导体材料术语GB/T24582酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质SEMIMF1535微波反射无接触光电导衰退测量硅片载流子复合寿命测试方法3　术语定义、符号及缩略语GB/T14264确立的术语和定义适用于本标准。4　分类产品按外形尺寸（长×宽）分为125mm×125mm和156mm×156mm，且有

4、效高度应≥10cm,或由供需双方协商。5　要求5.1　外观要求太阳能级铸造多晶硅块外观在有效高度内要求无目视可见裂纹、崩边、崩块、缺口；5.2　性能太阳能级铸造多晶硅块性能要求具体见表1，在表1中未列出的规格要求由供需双方协商；表1太阳能铸造多晶硅块性能要求项目要求电阻率，Ω·cm0.5∽3.0导电类型P型少数载流子寿命（有效寿命），μs≥1氧浓度，atoms/cm3≤1×1018碳浓度，atoms/cm3≤5×1017注-5-GB/TXX—XXXX基体金属杂质浓度，ppmwFe、Cr、Ni、Cu、ZnTMI(Totalmetalimpuri

5、ties)总金属杂质含量：≤2硼浓度，ppmw≤0.41.1　表面质量、外形尺寸及允许偏差5.3.1太阳能级铸造多晶硅块红外探伤检测结果不可出现阴影；每块多晶硅块需测量四个侧面，阴影的尺寸不大于5mm；5.3.2太阳能级铸造多晶硅块侧面粗糙度Ra≤0.2μm；5.3.3太阳能级铸造多晶硅块相邻两面的垂直度为90°，垂直度的角度偏差为±0.25°。如图1所示；5.3.4太阳能级铸造多晶硅块倒角尺寸为1.5±0.5mm，倒角角度为45°±10°，如图1所示；5.3.5太阳能级铸造多晶硅块外形尺寸偏差为±0.5mm。图1多晶硅块垂直度、倒角尺寸和倒

6、角角度的定义2　试验方法2.1　太阳能级铸造多晶硅块的外观检验用目测检查；2.2　太阳能级铸造多晶硅块电阻率检验按GB/T1551或GB/T6616进行；2.3　太阳能级铸造多晶硅块导电类型检验按GB/T1550进行；2.4　太阳能级铸造多晶硅块少数载流子寿命检验按SEMIMF1535或GB/T1553进行；2.5　太阳能级铸造多晶硅块的氧含量检验按GB/T1557进行；2.6　太阳能级铸造多晶硅块的碳含量检验按GB/T1558进行；2.7　太阳能级铸造多晶硅块红外探伤检测方法：将太阳能级铸造多晶硅块置于400~3000nm~红外光源下，通过

7、摄像机观察成像效果。6.8太阳能级铸造多晶硅块的基体金属杂质的检测方法：选取太阳能级铸造多晶硅块中代表区域不少于5g的样品，将其溶于制备的酸溶液中，利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测量其金属杂质的含量，其具体操作方法可参考GB/T24582。-5-GB/TXX—XXXX6.9太阳能级铸造多晶硅块侧面粗糙度用表面粗糙度测试仪测得，测试点在所试表面随机获得。测试要求测量硅块的相邻两侧面，两端面不用测量。6.10太阳能级铸造多晶硅块外形尺寸检验用游标卡尺或相应精度的量具进行。6.11太阳能级铸造多晶硅块相邻两边的垂直度检验用万能角尺或相应

8、精度的量具进行。1　检验规则7.1检查和验收7.1.1产品应由供方技术（质量）监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准的规定，并填写产品质量保证书。7.1.2需方可