基于mems红外光源的长光程甲烷气体检测系统设计论文

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1、分类号：TN215单位代码：10110学号：S20110624中北大学硕士学位论文基于MEMS红外光源的长光程甲烷气体检测系统设计硕士研究生杜彬彬指导教师陈旭远学科专业电路与系统年月日图书分类号TN215密级非密注1UDC620硕士学位论文基于MEMS红外光源的长光程甲烷气体检测系统设计杜彬彬指导教师（姓名、职称）陈旭远教授申请学位级别工学硕士专业名称电路与系统论文提交日期2014年5月20日论文答辩日期2014年5月23日学位授予日期年月日论文评阅王万军薛晨阳答辩委员会主席王群仰年月日注1：注明《国际十进分类法UDC》的分类原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论

2、文，是本人在指导教师的指导下，独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。论文作者签名：日期：关于学位论文使用权的说明本人完全了解中北大学有关保管、使用学位论文的规定，其中包括：①学校有权保管、并向有关部门送交学位论文的原件与复印件；②学校可以采用影印、缩印或其它复制手段复制并保存学位论文；③学校可允许学位论文被查阅或借阅；④学校可以学术交流为目的，复制赠送和交换学位论文；⑤学校可以公布学位论文的全部或部分内容

3、（保密学位论文在解密后遵守此规定）。签名：日期：导师签名：日期：中北大学学位论文基于MEMS红外光源的长光程甲烷气体检测系统设计摘要随着国民经济的快速发展，由石油化工、电力电气以及煤炭行业等产生的大量工业废气对环境的污染越来越严重。由此而产生的温室效应、酸雨以及大气臭氧层空洞等大气污染现象早已屡见不鲜。近年来，人们对生活环境与健康状况的关注意识日趋增强，对空气质量的检测也提出了更高的要求。如何及时、准确地实现易燃、易爆以及有毒有害气体的高灵敏度、高可靠性检测愈来愈引起人们的关注。因此，设计出一种具有灵敏度高、响应速度快、制备工艺简单以及价格低廉等特性的智能化便携式

4、红外气体传感器具有重大意义。本课题以甲烷作为目标气体，研究了易燃、易爆以及有毒有害气体的高灵敏度红外检测系统。该检测系统基于红外光谱吸收原理，结合双波长单光路的差分检测方法，采用了一种具有波长范围宽、调制频率高、寿命长等特点的小体积微机电系统（Micro-Electro-MechanicSystem,MEMS）红外光源作为红外辐射源，以积分球为吸收气室，有效地实现了甲烷气体浓度的高精度检测。本论文的主要研究内容如下：（1）与传统的红外光源相比较，MEMS红外光源具有体积小、波长覆盖范围宽、调制频率高、价格低廉等优点，很好地满足了红外检测系统对于光源的要求。然而，由

5、于MEMS红外光源为具有郎伯分布的面光源，能量太过于分散，导致可以直接利用的光能量太少。要想使其更好地应用于红外传感系统中，尽可能发挥出其自身的优势，就需要对MEMS红外光源的光场进行一定的整形以收集红外能量。本论文研究出了两种不同的光学系统：基于自由曲面反光杯的光学系统和基于非球面准直透镜的光学系统，并使用光学设计软件TracePro与Zemax分别建立了仿真模型对上述设计理论结果进行验证。最终使得MEMS红外光源的发散角度从180°压缩到了15°左右，大大提高了红外光能量的利用效率。（2）采用积分球作为气体吸收气室，光线进入内壁涂有高反射率膜材料的积分球后，在

6、球壁之间来回反射，有效增加了红外光与被测气体的有效作用距离，从而提高了红外传感系统的检测灵敏度及精度。但是，红外光波在积分球内的每一次传播都具有随中北大学学位论文机性，很难像计算传统气室有效光程那样，将光波反射次数与气室的基本长度作乘法运算就能够得出光波与被测气体的有效传播距离。本论文中建立了积分球吸收气室的数学模型，根据光在传输过程中光通量守恒的原理，推导出了积分球吸收气室的等效光程，解决了积分球气室等效光程的计算难题。（3）提出了传感系统的外围电路设计方案，为后续研制出完整的红外检测系统奠定了一定的基础，主要包括MEMS红外光源的驱动电路、信号调理电路、A/D

7、转换控制电路以及整个电路系统的供电电路等模块。通过FPGA芯片产生的脉压调制信号实现了MEMS红外光源的有效驱动，并对红外探测器输出的双路电压信号进行滤波和放大处理后，经A/D转换控制模块将其模拟量转换为了数字量，最后通过USB传输模块将数字量上传给上位机进行数据处理及显示，并介绍了整个电路系统的供电模块。关键词：红外光谱吸收原理，MEMS红外光源，积分球吸收气室，FPGA主控芯片中北大学学位论文LongopticalpathmethanegasdetectionbasedonMEMSinfraredlightsourceAbstractBecauseofther

8、apidd