基于硅纳米晶体的薄膜和块体材料的研究

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1、⑧论文作者签名：盎垄塑指导老师签名：牛驾写珞论文评阅人l：盆鱼垒11幽坚盘豆)塑蕉评阅人2：评阅人3：评阅人4：评阅人5：答辩委员会主席：委员1：委员2：委员3：委员4：委员5：答辩日期：三Q二四生塞月盍旦方、f勺d-，Author’ssignature：superv；s。r，ss；gnature：—_；《：4瑚ExternalReviewers：ExaminingCommitteeExaminingConunitteeDateoforaldefence：丑!堕星Q鱼，2Q!垒浙江大学研究生学位

2、论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得濒江太堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签名：囊莨鹕签字日期：知牛年彤月la日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解浙江太堂有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权浙

3、江太堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)学位论文作者签名：桑灰琳；导师签名签字日期：汛年韶月p日签字聃伽(垆D6月摘要硅纳米晶体由于尺寸效应因而有着迥异于体硅的光电特性。利用硅纳米晶体薄膜成功制备光电器件是研究人员正努力突破的重要方向。另外，利用硅纳米晶体制备的三维块体材料也展现出巨大的应用潜力，颇具开发价值。本文综合研究了硅纳米晶体及其薄膜和三维块体的结构和性能。在成膜方面，利

4、用溶液法和全气相法将冷等离子体法合成的非有意掺杂SiNCs沉积成膜，基于此制备了硅纳米晶薄膜晶体管O'FT)，所制ⅡT的载流子迁移率在10‘3cm2V。1So量级，I—V曲线表明所制备的Tn'是具有场效应的，并且证明了非有意掺杂的硅纳米晶体为弱n型半导体材料。将重掺磷和重掺硼的硅纳米晶体颗粒热压，成功制备出了其块体材料，由于它兼具了重掺硅纳米晶体的特点和块体的宏观结构，因此其电学性能十分优异。所获块体材料的致密度最高可达98％，电阻率最低可至0．803mQ·em，载流子浓度最高达2．7×1020

5、em～。分析发现，最多有大约27％的杂质被电学激活。我们对以上实验结果做出了解释，认为高温下硅纳米晶体的粘性流动在其热压块体成型过程中起着至关重要的作用。硅纳米晶体的表面氧化层有助于热压烧结时晶粒的粘性流动，从而促进有效的颗粒重排。重掺磷的硅纳米晶体比重掺硼的更容易氧化，因此烧结时其颗粒重排更为充分，空隙更少，致密度也更大。同时，高温下硅纳米晶体表面的氧化物自身也会产生粘性流动，打破了原来硅纳米晶体及其表面氧化物的核壳结构，从而使得重掺磷的硅纳米晶体颗粒直接相互接触，组成了有效的电学连接。反观利

6、用重掺硼的硅纳米晶体制备的块体材料，由于致密度低，空隙多，无法大量形成有效电学连接，因此载流子传输通道少，严重制约了其电导的提升。关键词：硅纳米晶体，纳米晶体薄膜，薄膜晶体管，热压浙江大学硕士学位论文AbstractOwingtosizeeffect,Sinanocrystals(SiNCs)possessavarietyoffantasticopticalandelectricalpropertiesthataredifferentfromthoseofbulksilicon．Si-NC-ba

7、sedthinfilmsholdgreatpromiseforapplicationsinelectronics，optoelectronicsandphotovoltaics．BulkmaterialsproducedbyusingSiNCsalsodemonstratepotentialsasenergymaterials．乃estructuresandperformanceofthinfilmsandbulkmaterialsbasedonSiNCshavebeeninvestigated

8、inthisstudy．BythedepositionoftmintensionallydopedSiNCssynthesizedbynon-thermalplasmawitheitherasolutionmethod01"anall—gas-phasemethod，thin-filmtransistorS(TFTs)aresuccessfullyprepared．ThecardermobilitiesoftheTFrsreach10’3cm2V-1S～．TheperformaceoftheTF