太阳能电池125单晶工艺原理

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1、制绒：硅片型号：125*125工艺目的：祛除机械损伤层，形成金字塔状绒面结构，减少光的反射。工艺原理：利用硅的各向异性腐蚀，在不同的晶向上的腐蚀速度不一致，100面上的腐蚀速率与111面上的腐蚀速率的比值R100：R111在一定的弱碱溶液中可以达到500。主反应方程式：Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2工艺过程：装片-上料-超声波清洗机-下料-上料-制绒-水-甩干-出料上料：每筐12盒*25片制绒设备的槽体说明：槽号1号2号3号4号5号6号7号8号9号10号11号12号13号14号槽体名称水去损伤层槽水槽制绒槽制绒槽制绒槽制绒槽漂洗槽漂洗槽HF槽

2、漂洗槽HCL+HF槽漂洗槽漂洗槽脱水槽温度80-85℃25℃80±2℃80±2℃80±2℃80±2℃25℃25℃25℃25℃25℃25℃25℃85℃时间100-300秒240秒1000-1800秒1000-1800秒1000-1800秒1000-1800秒240秒240秒300秒240秒300秒300秒300秒20秒槽体体积231195229229229229155175200175200175175157加纯水15016015015015015015016013816088160160150配液NAOH3-4瓶(1500-2000G)—3瓶(1500G)3瓶

3、(1500G)3瓶(1500G)3瓶(1500G)————————异丙醇5-6瓶(20-24L)—9L9L9L9L————————硅酸钠——4-6瓶(2000-3000G)4-6瓶(2000-3000G)4-6瓶(2000-3000G)4-6瓶(2000-3000G)————————HF————————32L—16L———HCL——————————56L———添加NAOH——1/3NAOH和0.5L异丙醇1/3NAOH和0.5L异丙醇1/3NAOH和0.5L异丙醇1/3NAOH和0.5L异丙醇————————异丙醇——————————————硅酸钠——————

4、————————HF——————————————HCL——————————————压缩空气0.4-0.6MPA备注信息：1，NAOH每瓶是500G，硅酸钠每瓶500G；异丙醇每桶是4L。2，去损伤槽比例：水：NAOH：异丙醇1L:10G:0.14L2，配液比例：水：NAOH：异丙醇：硅酸钠1L:10G:0.06L:13.3G水：HF1L:4.3L水：HF：HCL1L:0.2L:0.64L单片减簿量参考0.35-0.45g制绒后硅片表面反射率：14%左右绒面大小：金字塔尺度为3-10微米正常情况下单条生产线化学品用量计算：产量：计算基准：制绒配液制绒添加用量：化

5、学品厂家，每瓶大小等尚德的制绒槽是120升水尚德新一轮的培训马上开始了，要搞到培训资料。常见异常情况：工艺卫生基本点：1，保证装片操作台面的清洁；2，装片时戴好一次性薄膜手套和田罩，保证遮住口鼻；3，一次性清膜手套每100片更换一次，若有脏污需提前更换，确保不污染硅片以至于影响制绒效果；4，保证超声槽，水槽以及浓度梯度槽以及各附槽等的洁净状态，及时更换；5，工艺过程中看片必须戴干净的乳胶手套，减少手指印的发生，看完后及时更换手套；6，工艺结束后片子及时投入清洗，或放入水槽待投。扩散：设备：中国电子科技集团公司第48所扩散炉硅片型号：125*125S工艺目的：形

6、成P-N结主反应方程式：POCL3在高温下(>600℃)分解成五氯化磷(PCL5)和五氧化二磷(P2O5)5POCL3=3PCL5+P2O5在存在O2的状态下PCL5会进一步分解成P2O5并放出氯气（CL2）4PCL5+5O2=2P2O5+10CL2故在有O2的存在时，POCL3热分解的总反应式为：4POCL3+3O2=2P2O5+6CL2P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SIO2）和磷2P2O5+5SI=5SIO2+4P扩散示意图：工艺过程：1，进舟的同时给炉体加温，氮气还起到均衡管内气体；2，通入大量的氮气冲洗管道，排除管道气体；3，为防止POC

7、L3分解产生的PCL5对硅片表面腐蚀，事先通入大量氧气，以备及时将PCL5氧化成P2O5；4，通入携带源小氮，利用POCL3分解生成P2O5进行沉积；必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气；5，继续通入携带源小氮，进行扩散；6，继续通入携带源小氮。这样扩散过程就分为三步进行，一方面管内温度，气体各方面条件逐渐稳定；另一方面方便在生产过程中调节参数；7-8，通入大量氧气，确保将剩余的POCL3充分反应消耗掉，保证安全生产，同时对管内开始降温；9，出舟的同时通入大量的氮气排除管内尾气；10，冷却待卸片。125S的基准扩散工艺号：125S减源工艺STEP时间温区1温区

8、2温区3扩散小氮大氮干氧步骤13208