资源描述：
《硕士学位论文-塑封tqfp器件及电子模块封装防潮性能的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、分类号密级编号中国科学院硕士学位研究生学位论文赵润涛,指导教师途立强研究员中科院上海冶金研究所申请学位级别硕士学位学科专业名称材料物理与化学论文提交日期年月论文答辩日期年月学位授予单位主国科学院上海冶金研究所答辩委员会主席—致谢该论文是在导师徐立强研究员的悉心指导下完成的,在此要首先感谢徐老师对论文工作的指导和帮助,使我在科研能力方面取得了长足的进步。此外,在整个研究生的学,习期间徐老师不但在研究工作中给予了我极大的指导和帮助,而且对我的生活给予,,了许多关心帮助我明白了许多做人的道理使我的思想更趋于成熟,在此表示衷心
2、的感谢。本论文许多工作的完成与课题组的王旭洪副研究员和陈翔工程师的热情帮助。,和耐心指导是密不可分的为此要衷心感谢他们给予我的兄长式的关怀和帮助。感谢蒋惠英女、。士盛玫女士在我研究生期间的关心和帮助感谢本实验室的各位导师和工作人员及张群等各位同学的帮助,他们在我实验室工作期间给予了许多帮助和指导,他们严谨勤恳的工作作风是我今后生活和工作中的榜样。感谢研究生部的夏晓根老师以及其他各位老师在我研究生期间的指导和帮摘要伴随着集成电路工艺的迅猛发展,集成电路封装工艺朝着高密度、小体积、重量轻、低成本、高可靠性的方向发展。塑料封
3、装同传统的陶瓷等气密性封装形式相比,更能满足低成本、小体积、重量轻和高密度的要求。水汽对塑料封装器件可靠性,。的影响越来越大其主要失效形式为腐蚀和开裂采用等离子体增强化学气相沉积方法沉积无机薄膜作为塑料封装中的水汽和离子阻挡层,可以有效地保护集成电路芯片免受外界环境侵蚀,称为准气密性塑。,,一,,料封装另外等技术由于封装密度高体积小也逐渐成为研究的的热点。氮化硅薄膜和碳化硅薄膜由于具有良好的阻挡水汽扩散的性能以及良好的物理、化学和机械性能,因此曾被广泛地应用于各种钝化、防腐蚀领域。覆形涂层技术在电子工业,己经得到了广泛
4、地应用能够在一定程度上阻挡水汽。,和离子本文主要研究利用方法在塑封器件表面沉积氮化硅和碳化硅薄膜,阻挡水汽的扩散,提高器件的防水性能,并最终降低器件分层、开裂失效的几率。另外,本文也对电子模块的防潮性能作了初步的研究。实验中得到了以下一些结果湿度和温度对器件的吸水性能都有影响。在同一湿度条件下,器件的。一吸水率达到平衡的时间随着温度的升高而缩短通过公式和拟合器件的传感器法吸水曲线,可以证明水汽的扩散系数与成一直线关系,并且可以得到扩散过程的激活能为一。器件分层失效的闽值为,开裂失效的阂值为。当水汽含量超过后,样品中出现
5、分层失效当水汽含量超过,将产生开裂失效及“爆米花”现象。氮化硅薄膜能够在一定程度上提高器件的防水性能,其主要原。一因是薄膜提高了水汽扩散的激活能沉积了,薄膜的器件已杜绝了开裂现象完全分层的样品也只有烤两个,具有较好的防水性能。碳化硅薄膜对器件的防水性能的提高影响不大。双层钝化膜结构也未能达到防水的效果,其原因还有待进一步的研究。设计了实验模块的板,实现了湿度传感器的倒装焊,为以后电子模块防潮性能的研究打下了基础。覆形涂层的热处理时间越长,它与印刷电路板的粘结强度也越大,适当提高热处理温度可以大大降低热处理时间。之一,一
6、,,,,,,别刀,一一一一一一,,卜,一一,一,一,,一一加,一切一,一叮一妞一一一一一一雌一一一,一诚助一,一,一小印爪,一饰一,助,,七夕‘,夕一一一一目录致谢······································民···············,·······························⋯⋯摘要·······················································································⋯⋯·
7、·················,·······················,,·······························⋯⋯第一章文献综述荟电子封装技术概述·····································,·························⋯⋯电子封装的定义···················,····························,··············⋯⋯封································
8、·······························⋯⋯装的级别封······················································⋯⋯装工艺发展趋势概述圣水汽对封装器件可靠性的影响及保护措施·········,·······················⋯⋯腐蚀失效·····
