扫描微电解池技术及其在微加工的应用

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1、，{jiI糟厦门大学学位论文著作权使用声明本人同意厦门大学根据《中华人民共和国学位条例暂行实施办法》等规定保留和使用此学位论文，并向主管部门或其指定机构送交学位论文(包括纸质版和电子版)，允许学位论文进入厦门大学图书馆及其数据库被查阅、借阅。本人同意厦门大学将学位论文加入全国博士、硕士学位论文共建单位数据库进行检索，将学位论文的标题和摘要汇编出版，采用影印、缩印或者其它方式合理复制学位论文。本学位论文属于：()1．经厦门大学保密委员会审查核定的保密学位论文，于年月日解密，解密后适用上述授权。}(＼／)2．不保密，适用上

2、述授权。(请在以上相应括号内打“√”或填上相应内容。保密学位论文应是已经厦门大学保密委员会审定过的学位论文，未经厦门大学保密委员会审定的学位论文均为公开学位论文。此声明栏不填写的，默认为公开学位论文，均适用上述授权。)眵谚j栅尹月人移明年．声陟Ⅶ气11'-■々三第二章实验部分⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯322．1实验试剂和实验材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．322．2电化学装置⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯322．3微米开口直径的毛细管的制作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

3、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯342．3．1玻璃毛细管的准备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯342．3．2P一2000激光拉制仪简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯35第三章铁氰3．5铁氰化物．氯化钠固体溶液微晶体的全固态电化学性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．583．6钴氰化物．氯化钠固体溶液微晶体的合成⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯663．7本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。68参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯69第四章微尺度纳米结构氧化锌薄膜的合成、表征和电学特性。7

4、34．1前言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．734．2微尺度纳米结构氧化锌薄膜的合成及表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。734．3微尺度纳米结构氧化锌薄膜的电容行为⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。784．4微尺度纳米结构氧化锌薄膜的压敏性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．834．5本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．88参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．89第五章SMEC微加工技术的探讨和展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．935．1SMEC微

5、加工技术的应用探讨⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．935．1．1SMEC微加工技术合成硅钨酸微颗粒的初探⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯93，'、，：一i土⋯．93．．．．94⋯．96⋯．98．．．．99⋯．99．．1005．2．3SMEC微加工技术用于微合成有机功能材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯1005．2．4SMEC微加工技术用于微合成半导体功能材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯100参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯101作者攻读硕士期间发表与交流的文章⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯102jli[谢．

6、．．．．．⋯．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．⋯．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．⋯．．．．．⋯．．⋯103厦门大学硕士学位论文TableofContentsAbstl‘actinChinese．．．．．．⋯．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．⋯．．．．．．．．．．．．．．．．．IAbstractinEnglish．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．⋯⋯．．．．．．．．．．．．．

7、．．．．．⋯⋯⋯．．．．⋯．．．．．．．．．．．．．．．．．．．IIIChapter1Introduction．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．⋯．．．．．．．．．．⋯⋯．．．．．．．．．．．．．．．．．11．1OverviewofMicrofabrication．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．⋯⋯．．．．．．．．．．．．⋯．．．⋯．．．．．．．．．11．2ElectrochemicalMicrofabricationTechnique．．．．．．．．．．．．⋯．．．．．．．．．．

8、．．．．．．．．⋯21．2．1MaskMicrofabricationTechnique．⋯．⋯⋯．⋯⋯⋯⋯⋯．．．．．．．．⋯．．．．．．．．．．．．．．．．．21．2．1．1EFABTechnique．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．⋯．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21