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《6h-sic3c-sic6h-sic量子阱结构制备及其发光特性》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、物理化学学报(WuliHuaxueXuebao)AprilActaPhys.鄄Chim.Sin.,2008,24(4)：571-575571[Article]www.whxb.pku.edu.cn6H鄄SiC/3C鄄SiC/6H鄄SiC量子阱结构制备及其发光特性1,2111,鄢33刘金锋刘忠良任鹏徐彭寿陈秀芳徐现刚(1中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥230029;2中国工程物理研究院流体物理研究所,四川绵阳621900;3山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100)摘要：利用固源分子束外延(SSMBE)生长技术,在1350K的
2、衬底温度下,通过改变Si束流强度,在6H鄄SiC(0001)面上外延生长6H鄄SiC/3C鄄SiC/6H鄄SiC量子阱结构薄膜,并用反射高能电子衍射(RHEED)与光致发光(PL)谱对生长的薄膜的晶型和发光特性进行表征.RHEED结果显示生长的薄膜为6H鄄SiC/3C鄄SiC/6H鄄SiC量子阱结构薄膜.室温下He鄄Gd激光激发的光致发光(PL)谱显示,薄膜在480-600nm范围内存在衬底未观察到的较强发光.拟合得到的发光峰与依据量子阱结构模型计算出的发光位置较为一致.由此表明,该强发光带可能是6H鄄SiC/3C鄄SiC/6H鄄SiC量子
3、阱结构的发光.关键词：量子阱;碳化硅;固源分子束外延;反射高能电子衍射;光致发光中图分类号：O644;O484;TN304FabricationandLuminescentPropertiesof6H鄄SiC/3C鄄SiC/6H鄄SiCQuantumWellStructure1,2111,鄢LIUJin鄄FengLIUZhong鄄LiangRENPengXUPeng鄄Shou33CHENXiu鄄FangXUXian鄄Gang(1NationalSynchrotronRadiationLaboratory,UniversityofScienc
4、eandTechnologyofChina,Hefei230029,P.R.China;2InstituteofFluidPhysics,ChinaAcademyofEngineeringPhysics,Mianyang621900,SichuanProvince,P.R.China;3StateKeyLaboratoryofCrystalMaterials,ShandongUniversity,Jinan250100,P.R.China)Abstract：Quantumwellstructurefilmof6H鄄SiC/3C鄄SiC/6H
5、鄄SiCwasfabricatedon6H鄄SiC(0001)withthesubstratetemperatureof1350Kbysolidsourcemolecularbeamepitaxy(SSMBE)throughthevariationofSifluxrate.Thecrystalpolytypesandluminescentpropertiesofthefilmwerecharacterizedbyreflectionhighenergyelectrondiffraction(RHEED)andphotoluminescenc
6、e(PL),respectively.TheresultsofRHEEDindicatedthatthefilmwas6H鄄SiC/3C鄄SiC/6H鄄SiCwiththequantumwellstructure.TheresultsofPLexcitedbyHe鄄Gdlaseratroomtemperatureshowedthattherewereintenseemissionsintherangeof480-600nm,whichcouldnotbeobservedfromthesubstrate.Thefittingpeakswere
7、consistentwiththeresultscalculatedfromthemodelofquantumwellstructure,whichshowedthatsuchintenseemissionswereprobablyfromthequantumwellswithdifferentwidths.KeyWords：Quantumwell;SiC;SSMBE;RHEED;Photoluminescence半导体异质结、量子阱和超晶格材料在半导体结构的同种材料构成的异构多型体结构(heteropoly鄄[1,2][3-5]器件中有着
8、非常重要的应用,但在一般情况下,人typicstructure)体系,引起人们的极大关注.这种们对异质结构的研究主要还是集中在不同化学组分异构多型体结构材料与人们常用的由不同化学
