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1、,第卷第期电子与封装总第2期#!∀#∃!∀344年月%&%∋()∗∃+∋,−./∋0/1+∃1犷暮“褚竺署∀引丫净弓侣争于写卜亏于净于净弓净弓净节公5协纳米电子6光电子器件概述程开富,7中国电子科技集团公司第8研究所重庆84494:,摘要;6光电子器件的分类6光电子器件的本文主要概述了纳米电子并提出发展纳米电子。几点建议关键词;<<纳米电子学纳米电子器件纳米光电子器件;(∃巧文;中图分类号献标识码/、生、,学与光电子学物学机械学等学科结合可以、、引言制成纳米电子6光电子器件分子器件纳米电子机械系统、纳米光电子机械系统、微型机器人等,将对人#,4
2、一4林=,纳米技术是一门在4尺度空间内对电类的生产和生活方式产生变革性的影响纳米电子6光、。子原子和分子的运动规律和特性进行研究并加以应用电子学将成为3世纪信息时代的关键科学技术的,、高科技学科它的目标是用单原子分子制造具有特。国定功能的产品内外科技界已普遍认为纳米技术已成、3纳米器件分类为当今研究领域中最富有活力对未来经济和社会发展。、、有着十分重要的研究对象纳米科技正在推动人类社会自从纳米技术信息技术材料科学技术和生,,,产生巨大的变革它不仅将促使人类认识的革命而且物技术被列为3世纪的四大科学技术以来在国际。。将引发一场新的工业革命和国内出现了
3、一个纳米技术研究和开发的热潮尤纳米技术是34世纪末期崛起的崭新科学技术领,“”,其在国内纳米变成了最热的名词之一变成了,,。“”域是一个全新的高科技学科群它包括纳米电子人们谈论的热门话题之一但在纳米热潮的同、、、、学纳米光电子学纳米光子学纳米物理学纳,“”时也出现了对纳米概念的某些误解和泛用纳、、、、米光学纳米材料学纳米机械学纳米生物学纳。,米以及伪纳米产品的出现针对这种情况白春礼、、、、米测量学纳米工艺学纳米医学纳米显微学纳“”的院士及时地提出全面理解内涵促进健康发展、。米信息技术纳米环境工程和纳米制造等是一门,,发展方针指出对纳米器件尤其是纳米电子器件
4、基。础研究与应用探索相互融合的新兴技术的认识和大力发展纳米电子器件研究是一个非常重,,,。;「纳米电子学是纳米技术的重要组成部分是传要的问题例如什么是纳米电子器件>什么是纳,统微电子学发展的必然结果是纳米技术发展的主米光电子器件>纳米电子6光电子器件如何分类>要。,动力纳米电子学在传统的固态电子学基础上借纳米电子6光电子器件在纳米技术中处于什么地,助最新的物理理论和最先进的工艺手段按照全新。位>在纳米技术发展中应该注意哪些问题>等等。的概念来构造电子器件与系统纳米电子学在更深,有关纳米电子器件的分类方法等问题在国际上和,层次上开发物质潜在的信息和结构的能力
5、使单位国,内学术界存在着不同的看法本文的目的就是试,体积物质储存和处理信息的功能提高百万倍以上图,回答以上问题概述纳米电子器件和纳米光电子。实现了信息采集和处理能力的革命性突破纳米电子,。器件使读者有一个全面正确的认识;一收稿日期37?:3一≅4≅第2期程;6开富纳米电子光电子器件概述纳米器件7即纳米电子器件Α3Β和纳米光电子器件关于纳米器件如+纳米电子器件和纳米光电子,、、ΑΒ:可以被认为是利用纳米级加工和制备技术如器件&如何划分以及纳米磁性器件纳米级#!∀3、、,外延技术金属有机化学汽相淀积!∀#∃%&技术纳米级光电集成电路纳米级红外光电探测器阵
6、列、、、分子束外延!∋(&技术原子层外延)((&纳米级太阳能电池纳米激光器等是否应该纳人纳米+化学束外延∋(&∗光刻技术电子束(∋&光电子器件和纳米光电器件范畴以内等问题属于纳米电子、、电、。,刻技术纳米光刻技术子束刻蚀聚焦离子束刻蚀器件和纳米光电器件分类学的问题对这个问题在+。等,微细加工技术扫描控针显微镜−.!&的应国际国内存在着不同的看法本文作者比较倾向于用研究、、%>≅ΑΒΧΒ;ΔΑ;0和!ΕΦΕΓΗ6Χ;0ΙΕ1ΕΔΗ;纳米材料制备方法自组装生长分子合成&≅!等人的看,等设计制备的具有纳米铡/01一/2201#尺度以及具有法将纳米电子器件的范
7、畴限制在满足以下两个条件一。以内+/?定功能的器件&器件的工作原理基于量子效应&都基于目前的发展和对未来的预测,如果将主要纳具有相类似的典型的器件结构隧穿势垒包围,+“”。—,米电子器件进一步分类纳米#!2−器件主要有绝岛或势阱&的结构按照这两个条件像纳、一、、、缘层上硅!∀35即62/一!∀35&硅锗异质米#!∀3器件纳米%3.纳米磁性器件纳米电4(4(、、、、结!∀34(5低温!∀34(5双极!∀34(5本征子机械系统=(!−&纳米光电子机械系统+,硅沟道隧道型!∀34(5等量子效应器件包括量子=∀(!3&等虽然器件本身尺度为纳米量级也是干、,,涉
8、器件量子点器件和谐振隧道器件而谐振隧道器用纳米加工技术研制成功的但
