集成电路封装节水减排研究

《集成电路封装节水减排研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、五邑大学硕士学位论文(工学硕士）集成电路封装节水减排研究杨为二〇一五年六月二日五邑大学硕士学位论文独创性声明秉承学校严谨的学风与优良的科学道德，本人声明所呈交的论文是我个人在导师的指导下进行的研宄工作及取得的研宄成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研宄成果，不包含本人或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明。本论文成果归五邑大学所有。申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切相关责任，特此声明。论文作者签名:沐

2、/S年f月j曰关于论文使用授权的说明本人完全了解五邑大学有关保留、使用学位论文的规定，即:学校有权保留送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。同意五邑大学将本人的学位论文编入有关数据库进行检索，传播学位论文的全部或部分内容。对于涉密的学位论文，本人在此注明保密年限，解密后适用此授权。4开□保密（_年___月）（保密的学位论文在解密后适用此授权）论文作者签名：签字日期：>&、匕、分类号：学校代码：11349UDC：密级：学号：2111207005五邑大学

3、硕士学位论文（工学硕士）集成电路封装节水减排研究杨为学科门类：工学专业名称：化学工程与技术研究方向：废水处理学生所属学院：化学与环境工程学院指导教师姓名、职称：马晓鸥教授论文答辩日期：2015.5.31摘要摘要以江门某企业为例，对集成电路封装节水减排进行了研究。通过企业调研，对企业的用水水量及水质、产污水量及水质进行了分析总结；该企业废水可分为磨片、划片废水、去溢料浸泡废水电镀废水等三类。该企业现未按“分类收集，分类处理”的原则对废水进行收集处理，从而导致废水处理效率低、成本高。本论文对磨片、划片废水处理，浸泡废

4、水处理进行了实验研究，得到了满意的结果；综合调研与废水处理研究的结果，为企业设计了整体节水减排方案，对企业实施清洁生产提供技术支撑。1、对企业用水及产污情况进行了调研。企业废水总量为292m3/d，可分为三类：（1）磨片、划片废水。废水中含有大量二氧化硅微细颗粒悬浮物，性质稳定，废水产生量约为25m3/d;（2）浸泡废水。浸泡废水COD较高、TN高，还含有少量铜离子，废水产生量约为33m3/d；（3）电镀废水。电镀废水中含有少量铜离子、锡离子、有机物，废水产生量约为234m3/d。企业各类废水均排入废水站，经化学

5、沉淀法处理后排放。2、对磨片、划片废水处理，浸泡废水处理进行了实验研究。（1）采用混凝沉淀法对磨片、划片废水处理进行了研究。结果显示，当pH为9.0，8%聚合氯化铝投加量为150μL/L时，上清液浊度为0.8NTU、pH在7到8之间、电导率为77.1μS/cm，水质指标优于自来水。（2）采用离子交换法联用芬顿氧化法对浸泡废水处理进行了研究。①离子交换法处理浸泡废水：通过静态实验，从六种阳离子树脂中筛选出吸附容量较大的OD5型树脂。其静态吸附容量约为180mg/g。动力学分析表明，OD5型树脂吸附COD的过程为内扩

6、散控制，吸附速率常数为k=7.6×10-3min-1；静态再生实验表明，选用盐酸作为再生剂，浓度为8%、用量为两倍树脂体积时，再生率达到99%以上；采用OD5型离子交换树脂进行动态实验。交换实验结果表明，优化交换流量为9.0BV/h。流出曲线存在两个平台：第一平台出水COD浓度为220-270mg/L，出水量为90BV；第二平台出水COD为270-320mg/L，出水量160BV，在穿透点前树I五邑大学硕士学位论文脂的平均吸附容量约为160mg/g。采用静态再生实验的优化条件对树脂进行动态再生实验，结果表明，再生

7、剂流量为2.4BV/h时，树脂的再生效果最好。②采用芬顿氧化法处理离子交换第一平台出水，优化条件为：初始pH=5.0、双氧水加入体积是3.0mL/L、[H2+]=5，第一平台出水氧化后COD降60mg/L2O2]/[Fe左右。采用芬顿法氧化离子交换第二平台出水废水初始pH=5.0、双氧水加入体积是4.0mL/L、[H2+2O2]/[Fe]=5，第二平台出水氧化后，出水COD降至约77mg/L。浸泡废水经离子交换法联用芬顿氧化法处理后，TN从114.1mg/L降至20mg/L左右，铜含量从6.7mg/L降至0.2m

8、g/L以下，NH3-N降至8.0mg/L以下。3、采用废水分质套用、中水回用等方法对企业节水减排方案进行了设计。将高压水冲洗工序出水套用至化学浸泡工序；磨片、划片废水经处理后中水水质优于自来水，可回用至化浸泡工序和高压水冲洗工序；电镀中纯水漂洗可套用至自来水漂洗工序。可节约用水约74m3/d，节水率约为25.2%，废水排放量减少74m3/d，减排率为25.3%。关键词：集