基于激光干涉比长仪的光栅线间距测量系统的研究

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5、mentForthedegreeofMasterofEngineeringChinaJiliangUniversityJune,2015中图分类号TH711学校代码10356UDC681密级公开硕士学位论文MASTERDISSERTATION基于激光干涉比长仪的光栅线间距测量系统的研究ResearchofGratingPitchMeasuringSystemBasedonLaserInterferenceComparator作者王皓专业领域仪器仪表工程校内导师叶树亮教授校外导师薛梓研究员申请学位工程硕士论文类型应用研究二〇一

6、五年六月致谢时光飞逝，转眼间三年的研究生生涯就要结束，在大论文完成之际，深深地感谢在这三年多来给予我支持与帮助的老师和同学！感谢我的导师叶树亮老师，朱维斌老师，是他们引领我走入计量的大门。叶老师严谨的治学态度、不断求索的科学精神，朱老师耐心细致、认真负责的科研态度，都深深的影响了我，在此向两位老师表达我深深的敬意。感谢中国计量科学研究院长度所的薛梓老师，薛老师平易近人的性格、缜密的逻辑思维、为科研工作无私奉献的精神都深深的感染和激励着我，促使我更加严格的要求自己。在课题开展的过程中，感谢长度所高宏堂老师对我的悉心指导，每当科

7、研遇到问题时，高老师都会不厌其烦的为我讲解，他丰富的专业知识与耐心细致的工作态度让我折服。感谢沈海珍同学对于我论文写作的建议，感谢丁炯老师、周泽恒同学、左晓菲同学对论文格式修改的帮助，感谢所有关心帮助过我的同事、老师、同学、朋友们，感谢你们陪我度过这段美好的时期。感谢我的家人，感谢他们对我生活上的帮助与精神上的支持。最后感谢各位评审老师，感谢你们给予的宝贵评议。王皓2015年6月基于激光干涉比长仪的光栅线间距测量系统的研究摘要：光栅尺作为位移传感器，已广泛应用于精密测量仪器中，随着对测量精度要求的不断提高，对光栅尺的质量也提

8、出了更高的要求。光栅的刻划质量直接影响其产生的莫尔条纹信号质量，而栅距误差是评价光栅刻划质量的重要指标，因此精确测量光栅的栅距，对于提高光栅产品的质量具有重要意义。激光干涉比长仪是检定线纹尺的最高等别装置，主要针对刻线间距为0.1mm和1mm的标准线纹尺进行测量，而对于间距小于0.02mm