硅薄膜太阳电池陷光及硅hit电池制作研究

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时间:2019-03-13

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1、分类号TM615密级公开学号122285硕it学位论文(学术型)题目捷薄膜太阳电池瞄光及娃HIT电池制作研究■‘■'■SI.作者王給石指导教师高斐教授-级学科名称材料科学与王程二级学科名称材料学二〇—提父日期五年十二月学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文是我在导师的指导下进行研究工作所取得的研究成果。尽我所知,本论文不包,除文中己经注明弓佣的内容和致谢的地方外含其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果,也不包含本人或他人已申请。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体学位或其他

2、用途使用过的成果,均已在文中作了明确说明并表示谢意。本学位论文若有不实或者侵犯他人权利的一切相关的法律,本人愿意承担责任?■诞方日期日作者《么:i:》〇年若月?/八学位论文知识产权及使用授权声明书本人在导师指导下所完成的学位论文及相关成果,知识产权归属陕西师范大学。本人完全了解陕西师范大学有关保存、使用学位论文的规定,允许本论文被査阅和借阅,学校有权保留学位论文并向国家有关部口或机构送交论文的纸质版和电子版,有权将本论文的全部或部分内容编入有关巧据库进行检索,可{^^采用任何复制手段保存和汇编本论文。本人保证毕业离校后,发表本论文或使用本

3、论文成果时著名单位仍为陕西师范大学。保密论文解密后适用本声明。么日期:班皆年I月口日作者签名:離/'摘要珪薄膜太阳电池由于其低的材料成本受到广泛关注,但由于珪膜较薄导致了光在电池中较难被充分吸收,因而陷光技术尤为重要。日本松下公司所制造的具有高效率、低成本的带有本征薄层娃异质结(HIT)太阳电池受到重视。本论文研究了娃薄膜太阳电池的陷光W及娃出T电池的制作工艺。利用时域有限差分法(FDTD)研究了周期性前背织构横向错位对微晶珪薄膜太阳电池光吸收的影响,首次提出了电池前背织构的横向匹配观点。研究表明,在大多情况下,在前背织构间引入横向错位可W使

4、娃薄膜电池的光吸收得到增强,最大可使电池的总光吸收率提升8.0个百分点。利用FDTD研究了用作非晶桂薄膜太阳电池背电极的铅纳米坑织构对电池陷光的影响。研究表明,随着锅纳米坑尺寸的增大,在大多数情况下,短波长-范围(300550nm)的电池吸收光谱变化不大(-,而长波长范围550800nm)的吸收光谱的干涉峰会出现増多、变宽等较好的趋势。电池的最大的光吸收率可达70.8%。研究了赶曲T电池的制作工艺,找到了影响电池性能的重要因素及这些因素在电池制作工艺工程中的先后次序。研究表明,珪片表面的氨等离子体处理对电池性能有非常重要的影响,并且是电池制作中首

5、先应重视的工艺。其次是电池本征层的沉积,侣背电极的制作,超片表面损伤层的去除,前银栅电极的制作等工艺。并分析了各因素的影响机理。通过各个工艺条件的优化,最终制作出了效率为13.08%的单面娃HIT电池。关键词!娃薄膜太阳电池,陷光,FDTD,织构横向匹配,娃HIT电池IAbstractSilico打thinfilmsolarcellshaveatractedwideatentionduetoitsrelativelylowmaterialcost.Howeversincesmallerthicknessitcanno

6、tabsorbsunlihtcomletel.,gpySothelihttrainiverimortance.SiHITheterounctio打intrinsicthinlaer,gppgsyp(jy)solarcellfirstlyfabricatedbyPanasonicCororatio打ofJaanhasbeenaidmorepppatentionbecauseofitshiheficiencandlowcost.In化isdissertation化elihtgy,gtrappi

7、打gofSithinfilmsolarcellsandthefabrication化chnologyofSiHITcellswerestudied.Theinfluenceofrelativelateralshiftbetweenthefrontandbackeriodkxturesponthelightabsorptionofmicrocrystallinesili

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