引信用mems微执行器设计及加工方法的研究

《引信用mems微执行器设计及加工方法的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、硕士学位论文题目2/1養mxmM处滅■氣柄?HAvi^^l/a研究生姓名(刀/;届；礆奸及戌也专业）导师姓名论文完成日期2(?/5年33漆iK夕火$ShenyangLigongUniversity沈阳理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明:本论文的所有工作，是在导师的指导下，由作者本人独立完成的。有关观点、方法、数据和文献的引用已在文中指出，并与参考文献相对应。除文中已注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经公开发表的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者（

2、签字）：日期：：2

3、曰学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解沈阳理工大学有关保留、使用学位论文的规定，即：沈阳理工大学有权保留并向国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权沈阳理工大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其它复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书）学位论文作者签名：

4、长^fe指导教师签名:日期：丨丨日期：分类号：TJ4密级：ＵＤＣ：621编号：工学硕士学位论文引信用MEMS微执行器设计及加工方法的研究硕士研究生：张风虎指导

5、教师：邵伟平教授学科、专业：机械设计及理论沈阳理工大学2015年3月分类号：TJ4密级：ＵＤＣ：621编号：工学硕士学位论文引信用MEMS微执行器的设计及加工方法的研究硕士研究生：张风虎指导教师：邵伟平教授学位级别：工学硕士学科、专业：机械设计及理论所在单位：机械工程学院论文提交日期：2014年12月11日论文答辩日期：2015年3月7日学位授予单位：沈阳理工大学ClassificationIndex:TJ4U.D.C:621AThesisfortheMasterDegreeofEngineeringResearchonDesignandProcessin

6、gMethodsofMEMSMicroActuatorsUsedinFuzesCandidate:ZhangFenghuSupervisor:Prof.ShaoWeipingAcademicDegreeAppliedfor:MasterofEngineeringSpeciality:MechanicalManufacturingandAutomationDateofSubmission:December11,2014DateofExamination:March7,2015University:ShenyangLigongUniversity摘要MEMS（

7、微机电系统）技术在引信领域的应用，改变了引信设计者的传统设计思想，加速了引信向微型化、智能化、集成化方向的发展。MEMS引信具有体积小、成本低、可靠性高等诸多优点，同时引信有更多的空间容纳多传感器探测电路和主装药，提高了弹药的精确度和杀伤力。本文提出了一种新型的引信用MEMS微执行器，重点对蛇形槽、微弹簧和错位闭锁机构进行了详细设计，其中错位闭锁机构不再依靠构件变形就能实现闭锁功能，提高了引信用MEMS微执行器的可靠性。本文首先介绍了MEMS技术及其在军事和引信领域的应用，介绍了几种典型引信用MEMS微执行器的基本构成和作用原理，并在此基础上提出了具有延时

8、功能的引信用MEMS微执行器设计方案，其次对蛇形槽、微弹簧和错位闭锁机构进行了重点设计。传统MEMS闭锁机构通常依靠构件的变形完成其闭锁功能，而本文设计的错位闭锁机构仅是简单的错位移动不再需要构件的变形，从而避免了因构件变形不充分造成的闭锁不可靠问题。通过UV-LIGA工艺和微细电火花工艺的比较，选用UV-LIGA技术制备引信用MEMS微执行器主体结构，对精度要求不高的零件，选用微细电火花加工节约成本。最后通过微细电火花加工引信用MEMS微小器件的大量实验，总结出加工参数与加工质量之间的关系以及微细电极的制备方法。为以后MEMS微小器件的制作提供借鉴。关键

9、词：引信；MEMS；闭锁机构；UV-LIGA；微细电火花AbstractDeviser’straditionaldesigningmethodhasbeenchangedaftertheapplicationofMEMSinthefieldoffuzes,whichinthesametimeacceleratesfuzes’miniaturization,intelligentizationandintegration.Bearingsuchadvantagesassmall,lowcostandhighreliability,MEMScanprovide

10、morespaceformulti-sensordetection