甩干机c电路研究仿真和故障维修

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1、甩干机电路分析和故障维修甩干机是半导体器件制造过程中常用设备。的控制电路可分为逻辑控制和电机调速两部分。逻辑控制电路由CD4000系列数字逻辑电路CD4001、CD4011、CD4066、CD4069……，以及可预置ICM7217加/减计数器等组成。电路如附图1。电机调速电路由SCR、运放CA3130、三极管、单极晶体管2N2647等组成。电路如附图2.。整个供电是由变压器将110V变成两组14V，经过全波整流成17V直流电压，经7812、7805，提供两组+12V、+5V直流稳定电压，供整机使用。一．逻辑控制电路部分甩干机在工作过程中执行下面四个动作：1.复位待机。机器

2、通电后，机器初始化复位，等待接受运行指令。2.喷淋清洗。机器接受到START指令，甩干桶按照设定的速度转动设定的时间，同时喷淋管喷出高纯水清洗硅片表面。3.甩干。喷淋结束，甩干机进入甩干阶段，甩干桶按照设定的速度转动设定的时间，同时甩干机加热器加热高纯N2,并喷向硅片，去除硅片表面水分，达到甩干的结果。4.甩干时间到，甩干桶停止供电。启动刹车动作。5.停止。甩干桶完全停止转动，机器回到复位待机状态。6.机器在运行过程中，如果遇到特殊情况，按动STOP按钮，机器马上停止转动，进入复位待机状态。根据甩干机的功能要求，逻辑控制的主要器件是ICM7217、NE555、CD4017

3、。U1ICM7217是四位可预置加/减计数器，具有预置寄存，直接驱动LED数8/8码显示管等功能。NE555和外围阻容元件组成一个脉冲发生器，为U1ICM7212提供计数脉冲，由U1-8输入。U1-14是复位端，加上低电平，计数器复位，输出端全部为0，显示器显示空白，U1-2输出也为0。U1-12是置数端，加上高电平，从U1-4/5/6/7脚输入外加数据，并锁存；低电平则不输入数据。U1-10是加减控制端，加高电平则进行加法计数，低电平则进行减法计数。U1-2是零输出端，当计数器输出为零时，U1-2输出低电平，否则输出高电平。甩干机的喷淋、甩干计时功能就是由ICM7212

4、完成的。U12CD4017是十进计数器，U12-15是复位端。加高电平U12复位，加低电平U12可以进行计数。U12复位后，U12-3(Q0)=1,其余为零。加一个计数脉冲，Q0=0,Q1=1;再加一个计数脉冲，Q2=1，其余为零;余类推。甩干机的复位等待、喷淋清洗、吹热N2甩干、刹车、停止几个步骤的转换就是由CD4017完成的。下面分析逻辑电路如何控制甩干机的几个动作：1.上电复位。甩干机通电后，+5V通过R4对电容C17的充电，U4-8会输出一个很窄正向脉冲，这个正向窄脉冲加到U12-15,U12进行复位过程，U12-3(Q0)=1,其余输出端都为零。U6-1=U4-

5、12=0,U6-2=U4-10=U4-9=1,U6-3=1;U6-6=U5-11=0,U6-4=1;U6-11=0,U1也进入复位等待阶段，等待接受运行指令。输出端全部为零，显示器为空白，U1-2=0。由于U4-8输出正向窄脉冲，触发器U9-3=1,U9-4=0。2.按动START按钮，即2A端子加+12V电压，甩干机执行RINSE喷淋清洗动作。U10-6=0,U10-4输出一个，U10-10输出，U3-2=0,U3-3=。U3-13=0,8/8U3-11==U3-9,U3-10=,D2导通，在R1上也产生一个。U5-1=U5-6=,U4-12、U4-4也输出分别加到U1

6、-12、U12-14，U12-14接受到第一个计数脉冲，U12-3=0,U12-2=1,Q2导通，K1吸合；另外U8模拟开关导通，数字扫描信号将数字编码开关设定的数字加到U1-4/5/6/7:U1-12接受到置数信号，U1立即将U1-4/5/6/7上信号输入并锁存，同时U12-3=0,U5-12=0,U5-11=1,U6-5=U6-6=1,U6-4=0,U6-11=1,U1脱离复位状态，U1-2=1,进入减法计数过程;同时，封闭U3A输入端，在甩干机运行过程中，再按START无效。减法计数是控制RINSE过程时间长短。K1吸合，将设定RINSE电机转速设定值加到电机调速电

7、路中。在启动RINSE过程中，U9-3/4触发器状态不改变。3.U1减法计数到零时，RINSE结束。U1-2=0，U3-4=0,U4-2=;原先U9-4=0,U9-3=1,触发器翻转，U9-4=1,U9-3=0。另外U3-13=U4-2=,U3-12=0,U3-11=,U3-10=,D2导通。U5-1=U5-6=1,U4-12、U4-4输出分别加到U1-12、U12-14，U12接受到第二个计数脉冲,U12-4=1,其余输出端为零。Q2截止Q1导通，K1释放K2吸合;U8模拟开关关闭，U7模拟开关开通。U1-12接受到置数脉冲