行波管关键工艺技术研究

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1、４占糾成＊著ＯＦＣＨＩＮＡＵＮＩＣｓｃＩＥＮＣＥＡＮＤＴＥＣＨＮＯＬＯ０ＹＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＥＬＥＣＴＲＯＮ专业学位硕±学位论文ＭＡＳＴＥＲＴＨＥＳＩＳＦＯＲＰＲＯＦＥＳＳＩＯＮＡＬＤＥＧＲＥＥ？＼ｙ＾／论文题目行波管关键工艺技术妍究Ｖ专业学位类别工程硕±学号２０１１９１０４０２１８作者姓名梁田指尊教师路志刚教授？Ｉ？＾独削斷明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加Ｗ标法和致谢的地方外

2、，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。作者签名：＠日親５月日聲＞护｝论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，，有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘允许论文被畜瞬和借飼。本人授权电子科技大学可茲将学位论文的全、部或部分内容编入有关數据库进巧检索，可从采用影印缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守

3、此规定）矣Ｉ火作者签名：导师签名；ｙ或＿〇日期：年；Ｔ月）分类号密级UDC学位论文行波管关键工艺技术研究（题名和副题名）梁田（作者姓名）指导教师路志刚教授电子科技大学成都王大明高工南京三乐集团有限公司南京（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕士专业学位类别工程硕士工程领域名称软件工程提交论文日期2016.04.01论文答辩日期2016.05.25学位授予单位和日期电子科技大学2016年06月28日答辩委员会主席评阅人注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号。ResearchonkeytechnologyoftravelingwavetubeAMasterThesi

4、sSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:MasterofEngineeringAuthor:LiangTianAdvisor:LuZhigangSchool:SchoolofPhysicalElectronics摘要摘要行波管是一种放大微波信号的电真空器件，广泛应用于雷达、电子对抗、通信等领域。随着行波管的快速发展，对工艺技术的一致性和稳定性提出了更高的要求。行波管的生产流程涉及的工序众多，目前除了部分工序可以实现自动化控制，多数工序还处于手工操作的状态，生产效率低下，工艺的一致性无

5、法得到保证，导致了行波管的可靠性较低。夹持杆是螺旋线行波管的关键件，本文主要将对螺旋线行波管夹持杆蒸碳的自动控制系统进行研究。在原工艺方法的基础上，通过研制自动控制系统，提高了一致性和生产效率，主要研究内容为：1.分析衰减薄膜的制备要求、工艺方法，提出实现蒸碳工艺过程自动控制的需求。2.在设计自动控制系统时，下位机采用PLC控制器，上位机采用工控专用触摸式一体机，并根据控制要求，采用西门子STEP7-Micro/WIN编程软件和语句表（STL）编程语言实现自动控制系统的功能。在实现过程中，构建了系统的控制系统、数据传输系统，实现了工艺参数组的设置以及自动控制软件的编写等。3.

6、研制了夹持杆衰减薄膜制备的平台。该平台简单、实用，保证了各控制功能，可靠性高，已成功应用于实际工作中，提高了一致性和生产效率。关键词：行波管，关键工艺技术，衰减薄膜，PLC，自动化控制IABSTRACTABSTRACTTravelingwavetube(TWT)isavacuumtubeformagnifyingthemicrowavesignal,itiswidelyusedinradar,electroniccountermeasures,communicationsandotherfields.WiththerapiddevelopmentofTWT,theconsis

7、tencyandstabilityoftechniqueofhigherrequirementsareputforward.TheproductionprocessofTWTisinvolvedinmanyprocedures.Atpresent,onlyasmallpartoftheprocedurescanrealizeautomaticcontrol,mostproceduresarestillinthestateofmanualoperation.Therefore,theproductione