《Ct扩散炉结构简介》PPT课件

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1、1Centrotherm扩散炉设备结构简介CONTENT1、设备基本构成2、炉体部分3、Loadstation4、Gascabinate5、控制及监控系统基本构成—centrothermCentrotherm扩散炉机台主体由装载系统，TGA，炉体部分和气源柜四部分组成。其各部分功能如下：1.装载系统：用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内，以及将扩散完成的硅片传送到上料台。2.TGA（ToxicGasExhaust）：用于驱动炉门，吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来的有毒气体。3.炉体部分：机台的核心部分，由五个炉体及相关的电源系统和控制系统组成。4.气源柜：用于提供扩散工艺过程所

2、需的各种工艺气体，以及将扩散过程中产生的尾气通过酸排风系统排出。炉体部分—centrotherm炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部分。炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器，电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。控制柜动力柜炉体控制柜动力柜CCC电脑放置处动力柜动力柜中的变压器机体温度监控CCC控制电脑与CMSCCC控制电脑（CellControlComputer）中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM（CentrothermCellControlRecipeManager）,用于对CESAR电脑进行集中控制。CMS（

3、centralmachinesafety），错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结果显示在CMI电脑用户界面上。CMSCCC电脑CESAR控制电脑温度控制器CESAR控制电脑(每个炉管有一个):其作用为：创建或更改recipe，定义recipe变量（工艺时间，温度，压力，气流），start，stopandcancelrecipe，数字控制温度，控制气流，装载机组参数设置，与装卸系统进行通讯，监视报警/中断状况（气流，温度，压力），通过级联控制器控制温度，通过级联温度控制进行自动拉温，存储一定数量的recipe，记录用户定义的工艺数据，对正在运行的

4、工艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等）温度控制器（每个炉管有一个）：采用REG97温度控制器，硬件部分由controller，transducer，pulseskippingunit组成。控制柜动力柜UPS电源炉体电力配置箱，变压器动力柜，控制柜，炉体与变压器分布SpikeTC温度测量模块SpikeTC供电超温监控CMS（机器安全系统）冷却水管接口冷却水管接口SpikeTC炉体情况接线柱SpikeTCSpikeTC（包含两根热偶，一根用于超温报警，一根用于工艺控温）石英管工艺气体进气管PaddleTC放置口尾气管放置炉丝及炉管炉丝与接线柱接口设计炉门控制系统-TGA

5、Centrotherm的炉门系统由专门的控制装置TGA（ToxicGasExhaust），其上有热排风来抽走炉门开关过程中可能释放出的有毒气体和热量。TGA炉门开关驱动电机炉门进出驱动电机炉门装置LoadstationCentrotherm扩散炉的装载系统由冷却箱，桨及桨托，传送带系统，手动上料台，lift，storeshelf，真空吸笔装置，过滤箱，CMI电脑以及相关的控制电路组成。手动上料台冷却箱CMI电脑1.桨托的形状和作用：centrotherm的桨托起到固定桨的作用，而桨的高低位则通过升降整个传送系统来实现；Centrotherm桨托桨控制桨高低位的电机控制桨高低位的联动装置

6、2.桨的传送方式：centrotherm是利用固定在一侧的传送皮带带动桨托运动；Centrotherm的传送皮带皮带传送电机3.lift的运动方式：centrotherm的lift能实现上下和前后运动，石英舟的左右运动则是依靠下方的传送带实现；Centrotherm的lift，只能上下和前后运动装载系统下的传送带4.储存架的位置数量：centrotherm的储存架位于lift同一位置，一共七个（由于储存架尚未安装，此数量是从store架的形状看出）；Centrotherm储存架位置5.控制方式：centrotherm的装载系统，recipe管理系统，程序运行和执行均由同一显示界面控制；

7、Centrotherm的控制界面6.配置：centrotherm装载系统顶部有一个冷却箱，配有真空吸笔接口；真空吸笔接口Centrotherm冷却箱7.净化风机位置：位置相同，都位于装载系统下部，但形状不一样。centrotherm净化风机所放位置centrotherm净化风机外部Gascabinate—centrothermCentrotherm气源柜可以分为如下几个功能区：尾气瓶放置区，bubbler放置区，磷源温度和液位监视区，气体控制区