微硅陀螺检测子系统集成电路的研究与实现

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1、西安电子科技大学硕士学位论文微硅陀螺检测子系统集成电路的研究与实现姓名：安建宏申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：张鹤鸣20070101摘要在硅材料上采用氧化、光刻、腐蚀、键合等微机械加工技术制作出来的微机械惯性传感器具有批量生产成本低、体积小、质量轻、功耗低、可靠性高、易于与微电子电路集成实现数字化和智能化等优点。它成功地把旋转或者非旋转的惯性传感器从宏观概念向微观世界推进了至关重要的一大步。微硅机械振动陀螺仪是微机械惯性传感器乃至整个微机械研究领域内一项重要课题。微硅机械陀螺仪在航天航空器惯性制导、汽车自动导航和安全系统、武器火控系统、雷达天线稳

2、定、机器人姿态控制、工业生产自动化、医用电子学等领域都有广阔的应用。本文在分析差动电容式传感器工作原理的基础上，设计了音叉电容式微硅陀螺仪检测系统。电容检测电路采用电荷放大器方案。对电容检测电路的输出信号进行了分析，设计了信号检测电路，利用锁定放大技术检测微小信号。在锁定放大器前级设计高阻抗、低噪声、高增益放大器，使用开关式乘法器电路进行相关检测，根据锁定放大的特点，设计了二阶毛源带通滤波器、有源低通滤波器，有效的分离出了输入角速度。通过对电路性能的分析、陀螺主要参数的估算，确定所设计的电路可以达到基本要求。本文的最后，采用BiCMOSI艺技术完成了芯片的工艺设计以及

3、版图设计并进行了一系列相关的版图验证工作。关键词：微硅陀螺电容检测锁定放大器微弱信号BiCMOSAbstractMicroelectromechanicalsystems(MEMS)technologyholdsthepromiseofmakingcomplexsystemsthatintegratemicromechanicalandmicroelectroniccomponent．MEMSgyroscopescanbeimplementedperformanceinasmallpackageatasmallcost,providebehighwhilebeingr

4、uggedandoperableinharshenvironmentsandtakeuplessspacethanthemacro-systemsavailable．RisbelievedthatMEMSgyroscopewillsoonbemassproducedatsimilarvolumes．Thesensingsystemofmicromeehaniealsilicongyroscol∞isdesignedOilthebaseofthedifferentialcapacitancesensor’sworkprinciple．Thesensingcircuitt

5、uningforkmicromechauicalgyroscopeisdesigned．Asforthedetectingcircuitofthecapacitances，the”chargesen∞”circuitisdesigned．Troughtheanalysisoftheoutputofthedetectingcircuitofthecapacitances，theprocessingcircuitisdesigned．Uselocked-inamplifiertechnologytodetectweaksignaI．Infirstamplifier,usi

6、nghighimpedanceandlownoiseoperationalamplifier．Thentwo-poleband-passfilter,asingle-polelow-passfilterandtransfer-phasecircuitaredesigned．Thentheangularrateisseparated．Parameterscomputedofthegyroscopeandtheperformanceanalyzedofthecircuitshowthatthecircuitcanreachthebaserequirement．Atlast

7、，thelayoutoftheseusingsystemofmicromechanicalsilicongyroscopeisfinishedwithBiCMOStechnologyandcomplementedwithseriesofcheck．Keyword：MieromaehinedSiliconGyroscopeCapacitanceDetectionLocked-inAmplifierWeaksignalBiCMOS声明学位论文创新性声明秉承学校严谨的学分和优良的科学道德，本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成